CCD傳感器實(shí)時(shí)檢測技術(shù)在微細電火花加工機床上應用的優(yōu)勢
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圖2為總和所有結果出現頻率比。通過(guò)計算標準偏差我們可以得到人為因素對測量精度影響為當可信度為95％時(shí)的±4．05μm，并且此工件的平均寬度為9 996μm，即為-4μm偏離實(shí)際寬度。
3．1．2 高放大倍率CCD可視檢測儀——TolTec
TolTec250為放大倍率250的CCD可視檢測儀事一種高放大率并同時(shí)可安裝在線(xiàn)切割電火花機床和電火花刻磨機上。當該儀器被安裝在線(xiàn)切割電火花機床上后工件和鏡頭間的相對位置就已固定，但若是安裝在電火花刻磨機上就能對鏡頭進(jìn)行調整。因此實(shí)驗過(guò)程中雖然此儀器被安裝在電火花刻磨機上，但為了模擬與新研發(fā)的組合式可視檢測系統同樣被安裝在線(xiàn)切割電火花機床上的測試條件，從觀(guān)測屏上看到的工件與XY基準線(xiàn)呈一定角度。
為了測試該儀器的精確度，以下實(shí)驗被組織：
實(shí)驗別分組織了13個(gè)人使用此儀器測量一標準工件的寬，每人可測量任意次數，到最后共46個(gè)測量結果被收集(平均每人每次測量用時(shí)5分鐘)。每次測量時(shí)共需要在工件的兩邊定義3點(diǎn)，然后利用電火花機床中得數控系統算出其中一點(diǎn)到另外兩點(diǎn)所確定直線(xiàn)上的垂直距離。本文引用地址：http://dyxdggzs.com/article/160465.htm
分析圖3可以得到此種手動(dòng)測試法的精確度為可信度95％下的±2．6μm，并且-0．01μm偏離實(shí)際寬度。
3．2 自動(dòng)測量法
3．2．1 光學(xué)測量?jì)x
Optical Gaging Products(OGP)是一款基于光學(xué)原理的非接觸式高精度自動(dòng)測量設備。使用此儀器進(jìn)行測量時(shí)可以調試如光強，放大倍數等參數，因此為了確定最佳測量狀態(tài)，設計了以下一系列對比實(shí)驗。
10 mm寬標準工件再次被使用，下面分別是4組僅使用背景光照明情況下的對比實(shí)驗：1)最小放大率；2)最大放大率僅對焦一邊；3)最大放大率下對焦另一邊；4)最大放大率下對焦兩邊。最后結果可從表格2中讀出。
由上述結果可得，最高放大率下多次對焦實(shí)驗結果最好，95％可信度下的精確度可達±0．52μm。
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