CCD傳感器實(shí)時(shí)檢測技術(shù)在微細電火花加工機床上應用的優(yōu)勢
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2 CCD傳感器實(shí)時(shí)檢測系統重復測量的穩定性
為了檢驗CCD傳感器實(shí)時(shí)檢測系統重復測量的穩定性，標準工件上3個(gè)小孔的直徑在同樣條件下被重復測試33 900次，總共438小時(shí)。同時(shí)，由于機械探頭接觸掃描式檢測儀器Leitz PMM866被廣泛用在測量工件質(zhì)量的過(guò)程中，能滿(mǎn)足大多數客戶(hù)對精度的需求，所以，這種儀器的測量結果將被當做參照值。
表1分析總結收集的所有結果分別得到3個(gè)圓孔平均直徑和標準偏差，以及機械探頭接觸式儀器Leitz PMM866測量對比值。本文引用地址：http://dyxdggzs.com/article/160465.htm
從表格1中可得所有圓孔半徑的標準偏差都在0．5μm左右，并且與Leitz PMM866所得結果的偏差從-0．3μm到0，都滿(mǎn)足小于1μm的需求。同時(shí)，所有結果的峰值偏移都在±1μm以?xún)?，同樣也滿(mǎn)足最初的精度需求。綜上所述，該系統重復測量結果精度都穩定在±1μm以?xún)?，滿(mǎn)足細微電火花機床對工件檢驗精度的需求。
3 與其他細微精加工中常用測量機器的對比
在微米精加工過(guò)程中不同的檢測機器被使用，為了與這些常用機械進(jìn)行對比，設計了一系列的實(shí)驗來(lái)對比它們的精度。
3．1 手動(dòng)式測量方法
3．1．1 投影儀
這一類(lèi)測量機器利用光學(xué)衍射原理在被測工件背面投射背景光，并使用高倍放大鏡頭進(jìn)行接收放大后投射在觀(guān)測屏上。由于此種測量方式受人為影響較大，為了確定人為因素對最后結果精確度影響的程度，我們設計了如下實(shí)驗：一個(gè)寬10 mm的標準工件被用作待測工件，在投影儀的觀(guān)測屏上可以看到一個(gè)XY方向的基準線(xiàn)，測量過(guò)程中我們需要用人眼判斷出Y軸方向上基準線(xiàn)和工件邊緣的最佳吻合處。當確定位置后按下與投影儀相連用來(lái)讀取位置儀器上的按鈕，定義此處為(X，Y)=(0，0)點(diǎn)，然后轉動(dòng)放著(zhù)工件的托盤(pán)沿著(zhù)X軸移動(dòng)到此工件的另一邊緣，用同樣的方法記錄下另一邊緣處同一X方向上的另一點(diǎn)。此時(shí)可從儀器上讀取兩點(diǎn)間的距離，即為此標準工件兩邊緣間的間距。同樣的實(shí)驗被獨立重復50次。
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