LTCC在大功率射頻電路中的應用

1引言

　　世界電子產(chǎn)品已進(jìn)入一個(gè)速度更快、密度更高、體積更薄、成本更低且要求更有效散熱的封裝時(shí)代。隨著(zhù)無(wú)線(xiàn)電通信領(lǐng)域（如手機）的迅速商業(yè)化，對降低成本，提高性能有很大的壓力。LTCC（低溫共燒陶瓷）技術(shù)是一種低成本封裝的解決方法，具有研制周期短的特點(diǎn)。本文評述了利用LTCC技術(shù)在滿(mǎn)足微電子工業(yè)發(fā)展，特別是大功率RF電路要求上應用的可行性。

　　2LTCC技術(shù)概覽

　　LTCC是一種將未燒結的流延陶瓷材料疊層在一起而制成的多層電路，內有印制互連導體、元件和電路，并將該結構燒成一個(gè)集成式陶瓷多層材料。LTCC利用常規的厚膜介質(zhì)材料流延，而不是絲網(wǎng)印制介質(zhì)漿料。生瓷帶切成大小合適的尺寸，打出對準孔和內腔，互連通孔采用激光打孔或機械鉆孔形成。將導體連同所需要的電阻器、電容器和電感器網(wǎng)印或光刻到各層陶瓷片上。然后各層瓷片對準、疊層并在850℃下共燒。利用現有的厚膜電路生產(chǎn)技術(shù)裝配基板和進(jìn)行表面安裝。

　　3LTCC工藝概覽

　　LTCC原材料由有機和無(wú)機成分混合物組成。有機成分是聚合物粘接劑和溶解于溶液的增塑劑組成。諸如聚乙烯醇縮丁醛、聚塑醛丙酮和低級的烷（烴）基丙烯酸鹽共聚合物。丙烯酸酯還在使用，是因為它們能被清潔地在空氣中排膠（或在溫度300℃～400℃之間，惰性氣氛下）。要求粘接劑Tg低，分子強度高，排膠特性好。粘接劑通常為5％wt（粘接劑的百分比越高，燒成后的收縮率越高）。

　　無(wú)機部分由陶瓷和玻璃組成，通常是按1：3配比。陶瓷的選擇取決于所需要的特性，如熱膨脹系數（CTE）和熱導率。優(yōu)選的低CTE陶瓷有石英玻璃、莫來(lái)石、堇青石和氧化鋯。為了實(shí)現更高的CTE，優(yōu)選的陶瓷是Al2O3、石英、鎂橄欖石和鋯酸鈣。

　　玻璃的選擇依賴(lài)所需要的特性，如介電常數、附著(zhù)力、CTE和損耗角正切值。玻璃軟化點(diǎn)必須高到在開(kāi)始致密化之前完成排膠，低至能保證高密度燒結。常用的增塑劑和溶劑有二甲酸、丙酮、二甲苯、甲醇和乙醇。然后把各組分在油漆狀的懸浮液（稱(chēng)作釉漿）中進(jìn)行碾磨和均勻化，澆注在一個(gè)移動(dòng)的載帶上（通常為聚酯膜），通過(guò)一個(gè)干燥區，去除所有的溶劑，通過(guò)控制刮刀間隙，流延成所需要的厚度，粘度和載帶收縮率。此工藝的一般厚度容差是±6％。其他流延技術(shù)可用于實(shí)現更小的容差。

圖1LTCC典型的燒成曲線(xiàn)

　　然后把生（未燒結）瓷帶在不銹鋼桌上展開(kāi)，切成片狀（略大于沖片尺寸）。在120℃下加熱約30分鐘預處理陶瓷片（或在N2干燥箱中存放24小時(shí)）。采用沖床將預處理的生瓷片沖成最后工作尺寸。定位圖形也在此過(guò)程中產(chǎn)生。

　　下一步是形成通孔，利用機械沖壓、鉆孔或激光打孔技術(shù)形成通孔。通孔是在生瓷片上打出的小孔（通常直徑為5密爾～8密爾），用在不同層上以互連電路。在此階段還要沖制模具孔，幫助疊片時(shí)的對準；對準孔用于印刷導體和介質(zhì)時(shí)自動(dòng)視頻對準。

　　接著(zhù)是通孔填充，利用傳統的厚膜絲網(wǎng)印刷或擠壓把特殊配方的高固體顆粒含量的導體漿料填充到通孔?？删幊逃嬎銠C數控沖床可用于獲得不銹鋼或黃銅模版。通孔填充漿料的收縮率要與生瓷帶收縮率匹配。

　　下一步是利用標準的厚膜印刷技術(shù)對導體漿料進(jìn)行印刷和烘干。通孔填充和導體圖形在120℃箱式爐中烘干約5分鐘。根據需要，所有電阻器、電容器和電感器在此階段印刷和烘干。

　　接著(zhù)是檢查、整理和對準。檢查、整理和對準不同層，使每層中的對準孔同心并準備疊層。疊層期間（無(wú)論是單軸還是等靜壓），整理和對準的基板層被熱壓在一起（通常為70℃，3000psi下10分鐘）。然后一步共燒疊層。200℃～500℃之間的區域被稱(chēng)為有機排膠區（建議在此區域疊層保溫最少60分鐘）。然后在5分鐘～15分鐘將疊層共燒至峰值溫度（通常為850℃）。氣氛燒成金屬化的典型排膠和燒成曲線(xiàn)會(huì )用上2小時(shí)～10小時(shí),如圖1所示。

　　燒成的部件準備好后燒工藝，如在頂面上印刷導體和精密電阻器，然后在空氣中燒成。如果Cu用于金屬化，燒結必須在N2鏈式爐中進(jìn)行。然后對電路進(jìn)行激光調阻（如果需要）、測試、切片和檢驗。LTCC封裝中可用硬釬焊引線(xiàn)或散熱片(如果需要)。在此階段，封裝準備好后續的工藝，如下所示。

　　流延→卷帶→切片→預處理→沖片→第1層→沖孔→通孔填充→印刷導體→檢驗/核對/對位→疊層→燒成/共燒→后燒工藝→電測試→切片→

　　多層工藝時(shí)，要重復第6步到第10步。 　

4LTCC材料的特性

　　4．1生瓷帶材料

　　生瓷帶是LTCC系統確定關(guān)鍵性能的主要成分，包括介電常數、損耗因子、絕緣電阻、擊穿電壓、抗彎強度、CTE和熱導率。

　　4．2導體

　　導體漿料絲網(wǎng)印刷形成電路的導體部分。顆粒尺寸、顆粒組織和尺寸分布在決定燒成導體的最終電性能和物理性能上起著(zhù)重要作用。選擇合適的金屬化取決于各種因素的組合，如電阻率、可焊性、引線(xiàn)鍵合力、與系統中其他元件的兼容性、用途（通孔填充、焊接、接地層）、電子遷移、衰減、RF性能、熱導率、載流能力、附著(zhù)力、流變學(xué)、抗腐蝕性、外觀(guān)和成本。表1列舉出LTCC技術(shù)采用的各種金屬化材料。

　　值得一提的是光刻蝕導體的獲得，因為它能在LTCC基板上產(chǎn)生很細的線(xiàn)條和間隔（50μm）。

表1 LTCC采用的導體材料

　　4．3電阻漿料

　　厚膜電阻漿料用于制造無(wú)源電阻器元件。電阻漿料和導體漿料一樣，由玻璃料、導電粉和有機載體混合物組成。通過(guò)變化玻璃和導電粉的配比實(shí)現不同的電阻率（玻璃含量越高，電阻率越高）。大多數氣氛燒成的電阻器是在導電相材料上制成，如釕酸鹽、釕酸鉍和釕酸鉛。選擇合適的電阻材料取決于諸如方阻、功耗、頻率響應、電阻溫度系數、短期過(guò)載和高電壓等的需求。LTCC應用的電阻材料有表面安裝型和內埋型兩種。表面安裝型電阻器，其阻值從 5Ω/□～2MΩ/□，調阻后的容差可以小到±1％。內埋電阻器的阻值范圍從10Ω/□～100kΩ/□。由于內埋不能在燒成之前調阻，容差一般是± 25％。

圖2螺旋電感器