國產(chǎn)首臺套LED核心裝備成功下線(xiàn)
—— 為下一步投入市場(chǎng)、大規模產(chǎn)業(yè)化奠定了基礎
上海理想能源有限公司研制開(kāi)發(fā)的LED核心制造裝備——— 金屬有機物化學(xué)氣相沉積(MOCVD)設備日前成功下線(xiàn),該公司已與我國臺灣一家光電公司簽訂了37臺套設備應用驗證合同,為下一步投入市場(chǎng)、大規模產(chǎn)業(yè)化奠定了基礎。
本文引用地址:http://dyxdggzs.com/article/140126.htmLED作為重要的新型綠色光源產(chǎn)品,MOCVD設備是整個(gè)LED照明產(chǎn)業(yè)鏈中最關(guān)鍵的制造裝備,其設備成本占整個(gè)芯片設備成本的50%左右。由于技術(shù)含量高,制造工藝復雜,目前全球的MOCVD設備市場(chǎng)主要被國外兩家設備供應商所壟斷。
上海理想能源設備有限公司利用不到兩年的時(shí)間自主研制了具有單腔產(chǎn)能84片2英寸外延片的單腔體MOCVD反應腔,以及3腔體252片產(chǎn)能的簇式多腔體自動(dòng)化MOCVD系統,突破了國外同類(lèi)MOCVD裝備的技術(shù)開(kāi)發(fā)壁壘。
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