國產(chǎn)LED生產(chǎn)設備將亮相秋季中國電子展

　　兩家LED和太陽(yáng)能生產(chǎn)設備巨頭今年二季度的財報相信會(huì )讓國人暗生艷羨卻又很不是滋味：Veeco Instruments 2010年第二季度的營(yíng)收達2.53億美元，與2009年同期相比年增251.4%;Aixtron 2010年第二季度的營(yíng)收達1.918億歐元，年增238%。正是固態(tài)照明產(chǎn)業(yè)和可再生能源產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展讓這兩家分別位于美國和德國的企業(yè)賺得是盆滿(mǎn)缽滿(mǎn)，中國相關(guān)生產(chǎn)企業(yè)和資本在其中也可謂“貢獻”良多，例如，有機構預計，2010年Aixtron和Veeco的MOCVD將有35%以上是賣(mài)到中國大陸。

　　如何發(fā)展國產(chǎn)的太陽(yáng)能和LED生產(chǎn)設備，降低生產(chǎn)成本，是關(guān)乎中國綠色節能產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展的重大命題。目前國產(chǎn)太陽(yáng)能光伏設備在國內用戶(hù)中已建立起良好的信譽(yù)，得到業(yè)界的廣泛認可，越來(lái)越多的客戶(hù)從國產(chǎn)設備使用中受益。中國光伏設備企業(yè)已基本具備太陽(yáng)能電池制造整線(xiàn)裝備能力，部分產(chǎn)品如擴散爐、等離子刻蝕機等開(kāi)始少量出口，擴散爐、等離子刻蝕機、清洗/制絨機、石英管清洗機、低溫烘干爐)已在國內生產(chǎn)線(xiàn)占據主導地位，管式PECVD、快速燒結爐和進(jìn)口設備并存但份額在逐步增大，全自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機、自動(dòng)分撿機、平板式PECVD則基本依賴(lài)進(jìn)口。

　　即將參展第76屆中國電子展暨亞洲電子展(上海)的青島華旗科技有限公司就是一家專(zhuān)業(yè)的半導體工藝設備及先進(jìn)材料專(zhuān)用設備研發(fā)、制造廠(chǎng)家，致力于為半導體集成電路分立器件、太陽(yáng)能電池、半導體照明LED及磁性材料廠(chǎng)家提供先進(jìn)的專(zhuān)用設備,工藝涵蓋化合物半導體晶體生長(cháng)、外延、薄膜淀積(氮化硅、氧化硅、多晶硅等)、氧化擴散退火(含快速退火工藝)合金、真空燒結等工藝。該公司最新推出的JDF200-3FS太陽(yáng)能電池擴散爐可供太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)線(xiàn)上125mm×125mm 、156mm×156mm方片擴散、氧化、退火等工藝使用。

　　另一家參展商青島賽瑞達設備制造有限公司也將展示低壓化學(xué)氣相淀積設備、等離子增強化學(xué)氣相淀積設備和SRD-VGF單晶爐設備。其LPCVD用于淀積薄膜Poly-Si、Si3N4、SiO2、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、非晶硅及難熔金屬硅化物等多種薄膜。

　　在LED照明方面，中國的大功率特性襯底技術(shù)、加工穩定性以及對外延效率的提升率與國外相比，差距逐漸縮小，但是上游生產(chǎn)性外延設備一直主要依賴(lài)進(jìn)口昂貴的國外產(chǎn)品。MOCVD等關(guān)鍵設備對LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有舉足輕重的作用，有識之士都呼吁中國相關(guān)部門(mén)要集中人才和資源進(jìn)行重點(diǎn)開(kāi)發(fā)，解決制造設備中的關(guān)鍵技術(shù)，掌握具有自主產(chǎn)權的核心技術(shù)，并盡早實(shí)現LED生產(chǎn)設備國產(chǎn)化量產(chǎn)。只有這樣才會(huì )加快推動(dòng)LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展，降低LED相關(guān)產(chǎn)品的成本，實(shí)現健康、迅速地發(fā)展。

　　可喜的是，即將在第76屆中國電子展亮相的國產(chǎn)LED生產(chǎn)設備為人們點(diǎn)燃了希望，以青島華旗科技和青島賽瑞達為代表的一批中國設備制造商在關(guān)注太陽(yáng)能電池市場(chǎng)的同時(shí)，正把目光投向LED、LCD、電力電子器件等市場(chǎng)應用領(lǐng)域，并保持住價(jià)格優(yōu)勢，在新一輪的競爭中爭取更大的市場(chǎng)空間。他們或將成為改變中國乃至世界LED生產(chǎn)設備市場(chǎng)格局的重要力量。