國產(chǎn)LED生產(chǎn)設備將亮相秋季中國電子展
英飛凌汽車(chē)電子生態(tài)圈
掃碼關(guān)注
獲取最新最全汽車(chē)電子
技術(shù)方案與實(shí)用技巧
圖2就是青島華旗科技的一款適用于化合物半導體-LED/半導體照明等科研領(lǐng)域的外延及晶體生長(cháng)MOCVD系統。該系統由生長(cháng)室、氣源、氣體控制系統、真空系統、整機的計算機控制系統等組成，系統各工藝參數均可由計算機自動(dòng)控制(WINDOW 界面)。該產(chǎn)品可滿(mǎn)足2"多片晶圓，支持GaN/GaAs等薄膜工藝、采用電阻加熱/感應加熱的結構形式，生產(chǎn)能力為2英寸1、3、6片。另外，該公司還承擔了部分國家863項目(如半導體白光照明GaN生長(cháng)的HVPE設備等)。
本文引用地址：http://dyxdggzs.com/article/113407.htm
賽瑞達公司除了一系列太陽(yáng)能專(zhuān)用設備之外，也開(kāi)發(fā)了幾款LED生產(chǎn)設備，包括LED專(zhuān)用擴散爐和專(zhuān)用合金爐。其LED專(zhuān)用擴散爐和專(zhuān)用合金爐關(guān)鍵件全部采用進(jìn)口件，具有高可靠性和高抗干擾能力，具有可編程的升、降溫功能，以及有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能?？纱鎯艞l工藝曲線(xiàn)，每條工藝曲線(xiàn)最多有九步，曲線(xiàn)間可以任意鏈接、重復。另外還具有多種工藝管路，可供用戶(hù)隨意靈活配置。賽瑞達可為客戶(hù)提供斜滾式推拉舟系統，石英雙桿推拉舟系統及SiC漿推拉舟系統的靈活選擇。
上游設備的成功本土化離不開(kāi)下游外延芯片廠(chǎng)、LED封裝廠(chǎng)、模塊乃至燈具供應商、后端設備商的配合與支持。據悉，本屆秋季中國電子展，匯集了真明麗、深圳市穩亮電子、李洲科技、寧波升譜電子、常州愛(ài)立德電子、臺灣億光電子、金臺電子等眾多大中小型LED企業(yè)，以及田中精機、昆山具良、日特機械工程、華勝科技、上海富榮電子等一大批后端生產(chǎn)設備商，并專(zhuān)門(mén)開(kāi)辟了LED照明展區，為產(chǎn)業(yè)上下游的互動(dòng)提供了良好的互動(dòng)平臺，有利于促成他們之間的合作。當然，就像有些專(zhuān)家指出的，MOCVD等關(guān)鍵裝備的國產(chǎn)化也是一件體現國家意志的事情，建議國家大力地投入，全面地支持去做這件事，特別要注意工藝與設備的結合，要鼓勵外延芯片廠(chǎng)商應用國產(chǎn)設備，同時(shí)要給予一定的資助。
評論