Crossing Automation公司的Spartan EFEM被頂尖半導體設備產(chǎn)商作為第二代測量工具

　　Crossing Automation公司(www.crossinginc.com)今天宣布，其開(kāi)發(fā)的SpartanTM設備前端模塊(EFEM)已被一家頂尖的光刻與量測設備產(chǎn)商選擇用於第二代量測工具。Crossing是一家向大規模半導體設備產(chǎn)商提供高效且能有效降低成本的前端與后端工藝自動(dòng)化解決方案的領(lǐng)先供應商。

　　Spartan EFEM之所以被選中，是因為一方面Crossing能對其進(jìn)行個(gè)性化設計來(lái)滿(mǎn)足客戶(hù)的特定需求，另一方面它的測試平臺容易實(shí)現軟件集成。此外，Crossing還能提供ExpressSolutions™工程支持，這將顯著(zhù)縮短產(chǎn)品的市場(chǎng)推廣時(shí)間。此訂單表明，Crossing的常壓晶圓加工技術(shù)又獲得了一家一線(xiàn)原始設備制造商(OEM)新客戶(hù)。

　　“這個(gè)大訂單完全證明了Spartan的技術(shù)價(jià)值，以及我們通過(guò)Spartan提供的服務(wù)與支持能力致力于為OEMs服務(wù)，”Crossing Automation公司的產(chǎn)品營(yíng)銷(xiāo)副總裁May Su介紹，“我們能夠和客戶(hù)一道設計并提供定制界面，極大地促進(jìn)制造工藝與測試模塊的集成，同時(shí) Spartan的卓越表現能滿(mǎn)足各種光刻工藝的嚴格要求。”

　　通過(guò)Spartan，Crossing能夠通過(guò)簡(jiǎn)潔統一的設計提供完整的EFEM解決方案，該方案提供更高效率、更好的微塵性能、優(yōu)化的超凈空間和更低的擁有成本。促使用戶(hù)選擇Spartan的主要功能之一便是其先進(jìn)的被動(dòng)背面接觸(PBC)終端受動(dòng)器設計，可消除邊緣接觸處的微塵，并通過(guò)使用專(zhuān)用的聚合物襯墊盡量減少背面的微塵。Spartan自帶的Wafer Engine™機器人的高精度和高可靠性也為它提供了更多的競爭優(yōu)勢。