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Crossing Automation公司的Spartan EFEM被頂尖半導體設備產(chǎn)商作為第二代測量工具
- Crossing Automation公司(www.crossinginc.com)今天宣布，其開(kāi)發(fā)的SpartanTM設備前端模塊(EFEM)已被一家頂尖的光刻與測量設備產(chǎn)商選擇作為第二代測量工具。Crossing是一家向大規模半導體設備產(chǎn)商提供高效且能有效降低成本的前端與后端工藝自動(dòng)化解決方案的領(lǐng)先供應商。 Spartan EFEM之所以被選中，是因為一方面Crossing能對其進(jìn)行個(gè)性化設計來(lái)滿(mǎn)足客戶(hù)的特定需求，另一方面它的測試平臺容易實(shí)現軟件集成。此外，Crossing還能提供Expre
- 關(guān)鍵字： CrossingAutomation Spartan EFEM
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