SUSS MicroTec推出面向LED市場(chǎng)的專(zhuān)用光刻系統

　　SUSS MicroTec，全球知名的半導體行業(yè)及相關(guān)設備和工藝解決方案供應商，推出新一代MA100e光刻機，專(zhuān)用于高亮度發(fā)光二極管(HB-LEDs)生產(chǎn)。MA100e基于SUSS MicroTec光刻機經(jīng)典設計，具有最大至4英寸的載片能力，每小時(shí)產(chǎn)量可達145片，業(yè)界領(lǐng)先。

　　電視機、顯示器等對LED背光的需求急劇增長(cháng)，LED設備生產(chǎn)商必須盡力滿(mǎn)足這一市場(chǎng)增長(cháng)需要。LED行業(yè)對成本很敏感，所以SUSS MicroTec設計的MA100e Gen2自動(dòng)光刻機在成本控制方面極具競爭力。設備配置的高照度光路和預對準系統大大縮短作業(yè)時(shí)間，功能上接近式光刻分辨率可達2.5um，極大提高了產(chǎn)率和成本效率。MA100e Gen2提供卓越的工藝延展性，使用戶(hù)能將新的芯片設計快速投入市場(chǎng)。

　　SUSS MicroTec總裁兼首席執行官Frank Averdung先生指出：“我們清楚地認識到尖端高亮度發(fā)光二極管技術(shù)日益增長(cháng)的需求，并且看到LED業(yè)界為降低成本而開(kāi)始向高度自動(dòng)化方向發(fā)展。SUSS MicroTec開(kāi)發(fā)的新一代的MA100e正是專(zhuān)為L(cháng)ED生產(chǎn)設計的高效率全自動(dòng)光刻機，可以幫助我們的用戶(hù)降低每流明成本，提高生產(chǎn)效率。”