吉時(shí)利宣布推出了最新的4225-PMU超快I-V測試模塊

　　吉時(shí)利儀器公司今日宣布推出了最新的4225-PMU超快I-V測試模塊，進(jìn)一步豐富了4200-SCS半導體特征分析系統的可選儀器系列。它在4200-SCS已有的強大測試環(huán)境中集成了超快的電壓波形發(fā)生和電流/電壓測量功能，實(shí)現了業(yè)界最寬的電壓、電流和上升/下降/脈沖時(shí)間動(dòng)態(tài)量程，大大提高了系統對新材料、器件和工藝進(jìn)行特征分析的能力。同樣重要的是，利用4225-PMU可以像進(jìn)行直流測量那樣，輕松實(shí)現超快的I-V源和測量操作。其很寬的可編程源與測量量程、脈寬和上升時(shí)間使得它非常適合于既需要超快電壓輸出又需要同步測量的應用——從納米CMOS到閃存。

　　與之前需要多達三種不同測試臺才能對器件、材料或工藝進(jìn)行充分特征分析的方案不同的是，4225-PMU憑借其很寬的動(dòng)態(tài)量程，只需一套儀器即可完成對材料、器件和工藝的全方位特征分析。目前，實(shí)驗室配置一套靈活的系統就可以處理所有三類(lèi)測量操作：精密直流I-V測試(4200-SMU)、交流阻抗(4210-CVU C-V儀器)和超快I-V或瞬態(tài)I-V測試(4225-PMU)。

　　單模塊雙通道集成式源和測量功能

　　每個(gè)4225-PMU模塊提供了兩個(gè)通道的集成式源和測量功能，但是僅僅占用九槽機架中的一個(gè)插槽。每個(gè)機架最多可安裝四個(gè)這樣的模塊，實(shí)現最高8個(gè)超快的源/測量通道。每個(gè)通道兼具高速電壓輸出(脈寬范圍從60納秒到直流)和同步電流與電壓測量?jì)纱蠊δ?。這種模塊實(shí)現了高速電壓脈沖和同步電流與電壓測量功能，采集速率高達200兆次采樣/秒(MS/s)，具有14位模-數轉換器(A/D)，每個(gè)通道采用了兩個(gè)A/D(每卡四個(gè)A/D)。用戶(hù)可以選擇兩種電壓源量程(1兆歐輸入±10伏 ± 40伏)，以及四種電流量程(800毫安、200毫安、10毫安、100微安)。

　　可選的硬件擴展源-測量靈活性

　　每個(gè)4225-PMU模塊可以配置多達兩個(gè)可選的4225-RPM遠程放大器/開(kāi)關(guān)，從而提供了四種額外的低電流量程。它們還有助于減少線(xiàn)電容效應，并且支持在4225-PMU、4210-CVU和機架中安裝的其他SMU之間自動(dòng)切換。另外還有可選的4220-PGU脈沖發(fā)生器，它是僅僅支持電壓源功能的4225-PMU替代品。

　　支持豐富的材料、器件和工藝特征分析應用

　　4225-PMU和4225-RPM結合在一起能夠實(shí)現其它單臺儀器無(wú)法實(shí)現的多種應用所必需的工具功能。其中一些主要應用如：

　　· 通用超快I-V測量。脈沖式I-V測試具有很廣泛的應用，它通過(guò)使用窄脈沖和/或低占空比脈沖而不是直流信號，能夠防止器件自熱效應。

　　· CMOS器件特征分析。4225-PMU/4225-RPM的高速電壓源和電流測量靈敏度使得它們非常適合于CMOS器件的特征分析，包括高k器件和先進(jìn)CMOS工藝，如絕緣體上硅(SOI)。

　　· 非易失性存儲器測試。系統安裝的KTEI軟件提供了用于閃存和相變存儲器(PCM)器件測試的工具包。該系統非常適合于單個(gè)存儲單元或小規模存儲陣列的測試，例如研發(fā)或工藝驗證之類(lèi)的應用。

　　· 化合物半導體器件與材料的特征分析。4225-PMU能夠對III-V族材料進(jìn)行特征分析，例如氮化鎵(GaN)、砷化鎵(GaAs)和其它一些化合物半導體。它允許用戶(hù)設置一個(gè)脈沖偏移電壓，然后從非零值進(jìn)行測量，從而研究器件的放大增益或線(xiàn)性度。

　　· NBTI/PBTI可靠性測試?？蛇x的4200-BTI-A超快BTI工具包集成了實(shí)現所有已知BTI測試方法所需的全部硬件和軟件，并且具有最快、最靈敏的測量性能。此外，自動(dòng)特征分析套件(ACS)軟件還支持全自動(dòng)晶圓級和晶匣級測試，內置NBTI/PBTI測試庫，具有簡(jiǎn)潔易用的GUI。

　　四種可編程掃描選項

　　4225-PMU支持四種掃描類(lèi)型：線(xiàn)性?huà)呙?、脈沖、任意波形和分段ARB®(已申請專(zhuān)利)。分段ARB模式簡(jiǎn)化了波形的創(chuàng )建、存儲和生成過(guò)程，最高支持由2048個(gè)用戶(hù)自定義線(xiàn)段組成的波形，具有出色的波形生成靈活性。

　　高性能纜接

　　可選的多路測量高性能線(xiàn)纜套件能夠實(shí)現4200-SCS和探測控制器的連接，簡(jiǎn)化在直流I-V、C-V和超快I-V測試配置之間的相互切換過(guò)程，無(wú)需重新布線(xiàn)，增強了信號保真度。