小流量，大助力，推進(jìn)芯片發(fā)展

微電子學(xué)是全球通信的骨干中樞神經(jīng)系統。未來(lái)，國家和公司的競爭能力將越來(lái)越取決于如何推動(dòng)數字化轉型。芯片的發(fā)展速度直接影響了數字化進(jìn)程的腳步。

從技術(shù)角度來(lái)看，

經(jīng)濟和社會(huì )的中樞神經(jīng)系統離不開(kāi)芯片

從芯片主要應用領(lǐng)域的變化趨勢中可以看到，以前芯片的主要應用領(lǐng)域是計算機、機器控制系統和各種類(lèi)型的傳感器系統。隨時(shí)代發(fā)展，現在對芯片需求量日益增加，其中通信技術(shù)已經(jīng)超過(guò)了計算機，成為最大的使用領(lǐng)域，占比超過(guò)三分之一。

新冠病毒大流行階段并未抑制芯片行業(yè)的發(fā)展，反而凸顯了各種電子和虛擬通信基礎設施存在的弱點(diǎn)，間接加快了數字化的需求及相關(guān)投資。ChatGPT熱潮，更是將人工智能推向輿論中央。

我們每個(gè)人都是芯片的最終消費者。

日常生活都需要半導體產(chǎn)品，同樣也離不開(kāi)芯片，例如日常使用的LED燈泡、數碼相機、健身手環(huán)等。不知不覺(jué)間，芯片已經(jīng)滲透到我們生活的每個(gè)角落，無(wú)處不在。

能源轉型推動(dòng)半導體向高質(zhì)量發(fā)展

在這個(gè)能源轉型、智能設備普及、電動(dòng)汽車(chē)發(fā)展日新月異的時(shí)代，芯片等半導體產(chǎn)品的需求量日益增加。光伏系統和儲能系統需要高性能的專(zhuān)用芯片，高透明度和精確的規劃是加工定制類(lèi)芯片的先決條件之一，需要定制的閥門(mén)和系統解決方案來(lái)制造它們。

蓋米集團是知名的閥門(mén)、測量及控制系統制造生產(chǎn)商，總部位于德國，全球共設有27家獨資子公司，分支機構和商務(wù)伙伴遍布50多個(gè)國家。

在功率芯片和MEMS等產(chǎn)品領(lǐng)域，歐洲公司是市場(chǎng)領(lǐng)導者之一，并且其在建設新工廠(chǎng)以提高產(chǎn)能。它們在生產(chǎn)中需要蓋米解決方案。蓋米設計的VMB多通道被設計師、最終用戶(hù)和工廠(chǎng)工程師高度認可并投產(chǎn)使用。介質(zhì)借助蓋米多通道進(jìn)行分配。它們代表了一般的中央供應系統和實(shí)際生產(chǎn)部門(mén)中的加工設備之間的連接。

多通道的基礎組成原理基本相同：

?通過(guò)入口輸送介質(zhì)

? 引導介質(zhì)通過(guò)主管路，分配到各個(gè)支管路

? 支管路介質(zhì)進(jìn)入工藝段

? 集成背壓控制系統可選，以確?；芈酚凶銐虻慕橘|(zhì)供應

? 在進(jìn)行維護時(shí)，多通道可徹底排空

多通道的主要優(yōu)點(diǎn)如下：

• 一站式解決方案，可在工廠(chǎng)快速輕松安裝

• 配備高Kv的閥門(mén)類(lèi)型

• 多通道設計，空間要求低/連接點(diǎn)數量少

• 系統中滯留的介質(zhì)減少到可測范圍內，流量得到優(yōu)化，排空得到改善

• 減少連接點(diǎn)數，降低泄漏風(fēng)險

• 增強了整個(gè)系統的性能并減少了介質(zhì)損耗

工廠(chǎng)生產(chǎn)中錯誤的規劃將導致材料污染、產(chǎn)線(xiàn)停工及不必要的調試等，降低產(chǎn)線(xiàn)效率，產(chǎn)生額外成本。蓋米制造的組合閥經(jīng)過(guò)精準測試，具備高效防漏裝置。

蓋米閥門(mén)助力芯片制造

為滿(mǎn)足使用超純水和化學(xué)品的嚴苛要求，在半導體制造行業(yè)中閥門(mén)、測量及控制系統擁有著(zhù)廣泛的應用，例如超純硅生產(chǎn)和晶片生產(chǎn)、濕法涂層工藝、超純水處理廠(chǎng)的化學(xué)品清洗流程、化學(xué)品供應及濕法制程。

自1988年起，蓋米就已經(jīng)具有可應用于微電子半導體行業(yè)的超純閥門(mén)產(chǎn)品，并且在測量和控制系統方面的嫻熟經(jīng)驗。蓋米早早意識到了潔凈室條件對生產(chǎn)超純閥門(mén)的重要性，從而加大了投資。2012年9月，位于瑞士Emmen的蓋米潔凈室正式投產(chǎn)。蓋米的超純閥門(mén)產(chǎn)品，全部都是在瑞士潔凈室工廠(chǎng)以前沿技術(shù)和工藝進(jìn)行制造、噴射、清潔、裝配、檢測和包裝，在半導體市場(chǎng)上擁有較強的競爭力。

蓋米也與一家技術(shù)領(lǐng)先的設備工程公司展開(kāi)合作，打造了EUV光掩膜清洗系統。EUV光掩膜盒在清洗時(shí)，通過(guò)升高系統內部溫度加快清洗過(guò)程。而此時(shí)，控制設備電源的溫度及熱去離子水的供給和混合已然成為了技術(shù)難點(diǎn)。

下圖展示了蓋米與合作伙伴的研發(fā)成果，通過(guò)2套帶有步進(jìn)電機執行機構的蓋米C53電動(dòng)控制閥與PLC及溫度傳感器緊密合作，實(shí)現了溫水流量的精準控制，進(jìn)而能夠清潔高度敏感且昂貴的EUV光掩膜傳輸盒。該執行器具有以下主要優(yōu)點(diǎn)：

• 兩個(gè)執行器并行控制，以實(shí)現盡可能快地達到所需的混合比，并在有波動(dòng)的狀態(tài)下盡可能保持穩定供應

• 裝置中的“熱DI”溫度約為70-90°C

• 閥組使混合液保持溫度穩定，例如固定在63℃

• 集成止回閥可防止DI回流以防止兩條供應管線(xiàn)混合

• PLC、溫度傳感器和控制閥對精確的溫度控制器結果起決定性作用

蓋米集成的解決方案將日漸普及，并帶來(lái)諸多優(yōu)點(diǎn)，如資源節約型材料的選用、更完善的功能、較長(cháng)的使用壽命以及長(cháng)期的成本效益。因此，最終用戶(hù)、微芯片、MEMS、LED、觸摸面板和平板屏幕制造商都將傾向并受益于業(yè)內合作所打造的集成解決方案。

萬(wàn)物互聯(lián)的智能世界得益于通信技術(shù)的發(fā)展，而通信技術(shù)的發(fā)展源于半導體技術(shù)的不斷革新。共筑便利、互聯(lián)的世界是社會(huì )發(fā)展共同的愿景，更是大眾對生活的追求。德國蓋米集團作為知名的閥門(mén)、測量及控制系統制造生產(chǎn)企業(yè)，將不斷助力半導體行業(yè)發(fā)展，共同推進(jìn)全球數字化進(jìn)行。