中芯國際霸氣捧出10個(gè)IPO，給國產(chǎn)設備材料撐場(chǎng)子！
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編輯 | Panken
芯東西6月20日報道，近日，國產(chǎn)CMP（化學(xué)機械拋光）設備龍頭華海清科上市，其12英寸CMP設備打破了國際巨頭壟斷，為中芯國際、華虹和長(cháng)江存儲等國產(chǎn)晶圓制造廠(chǎng)商提供了自主可控的CMP設備。值得注意的是，華海清科的首臺12英寸設備就是向國產(chǎn)晶圓代工龍頭中芯國際出貨進(jìn)行驗證，公司也在中芯國際的陪伴下成為了CMP設備領(lǐng)域的國產(chǎn)龍頭。上市儀式中，華海清科董事長(cháng)路新春與國家02專(zhuān)項總師葉甜春都盛贊了中芯國際等下游晶圓制造企業(yè)對半導體設備國產(chǎn)化的支持。而產(chǎn)品率先在中芯國際通過(guò)驗證，隨后打入國內外市場(chǎng)，最終發(fā)展壯大、實(shí)現國產(chǎn)化的故事，并非僅有華海清科一例。拓荊科技、芯源微、北方華創(chuàng )、中微公司、上海新陽(yáng)、滬硅產(chǎn)業(yè)等國產(chǎn)半導體玩家都有核心產(chǎn)品首先在中芯國際通過(guò)驗證，之后成為了細分領(lǐng)域的國產(chǎn)龍頭。中芯國際作為國產(chǎn)晶圓代工“一哥”，在面對使用新的國產(chǎn)半導體設備、材料風(fēng)險時(shí)，愿意培養國產(chǎn)半導體設備和材料企業(yè)。其更是親身帶出了一批國產(chǎn)半導體設備、材料IPO，推動(dòng)國產(chǎn)半導體供應鏈成長(cháng)。
▲中芯國際帶出的十大半導體設備、材料IPO情況（截至2022年6月20日）
01. 國產(chǎn)設備、材料難過(guò)驗證關(guān)中芯國際成為試金石對于中國半導體產(chǎn)業(yè)，上游的半導體設備和材料既是被“卡脖子”的重要領(lǐng)域，也是國產(chǎn)半導體企業(yè)飛速成長(cháng)的賽道。至今，滬硅產(chǎn)業(yè)、中微公司、北方華創(chuàng )、芯源微、拓荊科技、盛美上海、屹唐股份、華海清科等各大細分領(lǐng)域材料、設備龍頭相繼上市，加速了半導體材料和設備領(lǐng)域國產(chǎn)化。而很多國產(chǎn)半導體材料、設備龍頭的新產(chǎn)品在首次打入市場(chǎng)時(shí)，往往會(huì )優(yōu)先選擇中芯國際這家國產(chǎn)晶圓制造龍頭。對于國產(chǎn)半導體設備和材料玩家來(lái)說(shuō)，新產(chǎn)品想要打入市場(chǎng)，真正地替代國際巨頭的產(chǎn)品，不僅要在性能參數和性?xún)r(jià)比上取得優(yōu)勢，更要取得晶圓廠(chǎng)的信任，通過(guò)其漫長(cháng)、嚴格的驗證。半導體行業(yè)是一個(gè)資本密集、技術(shù)密集的行業(yè)，最尖端的先進(jìn)制程晶圓廠(chǎng)投資往往要數十億甚至上百億美元，而且少數國際巨頭基本占據了主要的市場(chǎng)份額。中國刻蝕設備龍頭中微公司的招股書(shū)中寫(xiě)道：“半導體制造商對設備的嚴苛要求使得行業(yè)新進(jìn)入者需要經(jīng)過(guò)較長(cháng)時(shí)間的技術(shù)積累才能進(jìn)入該領(lǐng)域，長(cháng)期的研發(fā)與驗證對行業(yè)進(jìn)入者的資本實(shí)力也提出了很高的要求?！?/span>
▲中微公司產(chǎn)品的驗證階段（圖片來(lái)源：中微公司招股書(shū)）
出于對良率和成本等核心競爭力的考慮，晶圓廠(chǎng)在很多時(shí)候不具備使用新進(jìn)入企業(yè)產(chǎn)品的意愿。有中芯國際的內部人士對芯東西提及，上游的設備廠(chǎng)商必然都希望能夠得到名企大廠(chǎng)的背書(shū)，但這種驗證對晶圓廠(chǎng)來(lái)說(shuō)存在較大的風(fēng)險，選擇也會(huì )更嚴。對國產(chǎn)半導體設備廠(chǎng)商和材料廠(chǎng)商來(lái)說(shuō)，中芯國際就是其驗證的首選，也是一塊試金石。不過(guò)，盡管驗證十分困難，但設備和材料產(chǎn)品一旦通過(guò)驗證并實(shí)際進(jìn)入產(chǎn)線(xiàn)，即進(jìn)入了下游客戶(hù)的合格供應商名錄，后續采購需求也會(huì )相對穩定。華海清科、拓荊科技、芯源微、中微公司、北方華創(chuàng )等公司的新產(chǎn)品在通過(guò)中芯國際驗證后，由中芯國際開(kāi)始逐漸打開(kāi)了國內乃至國外的晶圓廠(chǎng)市場(chǎng)，對國際龍頭的產(chǎn)品起到了替代作用。02.助力五大國產(chǎn)設備龍頭國產(chǎn)設備進(jìn)入12英寸產(chǎn)線(xiàn)華海清科、拓荊科技、芯源微、中微公司、北方華創(chuàng )五家細分領(lǐng)域國產(chǎn)設備龍頭的成長(cháng)都離不開(kāi)中芯國際的支持。具體來(lái)說(shuō)，華海清科、拓荊科技和中微公司的首臺產(chǎn)品都由中芯國際進(jìn)行驗證，隨后其產(chǎn)品才逐漸打入國內其他的晶圓廠(chǎng)，逐步替代了外國龍頭的產(chǎn)品；北方華創(chuàng )的驗證單位就是中芯國際，其12英寸刻蝕機、清洗機、氧化爐等設備都由中芯國際進(jìn)行驗證；芯源微的前道晶圓清洗機由中芯國際率先進(jìn)行驗證。1、中微公司：等離子刻蝕設備率先進(jìn)入中芯國際中微公司2004年8月在上海張江啟動(dòng)運營(yíng)，產(chǎn)品主要為半導體刻蝕設備。據媒體報道，2007年，中微公司推出了應用于65納米至45納米高端芯片生產(chǎn)的刻蝕設備，并率先在國內12英寸產(chǎn)線(xiàn)上進(jìn)行試用。從時(shí)間上看，中芯國際是國內唯一擁有12英寸晶圓產(chǎn)線(xiàn)的企業(yè)，該產(chǎn)品試產(chǎn)驗證有很大可能在中芯國際進(jìn)行。此后，這種合作也有所延續。中微公司等離子體刻蝕設備Primo AD-RIE裝配中芯國際，首次進(jìn)入中國大陸客戶(hù)生產(chǎn)線(xiàn)，用于32nm至28nm制程。至今，中微公司產(chǎn)品已成功進(jìn)入國際龍頭的7nm產(chǎn)線(xiàn)，成為了國產(chǎn)半導體設備龍頭之一。2、北方華創(chuàng )：多個(gè)28nm產(chǎn)品在中芯國際驗證北方華創(chuàng )是由北京七星華創(chuàng )電子股份有限公司和北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司于2017年2月戰略重組而成，是國內半導體設備龍頭，其半導體產(chǎn)品包括刻蝕、薄膜沉積、氧化、清洗、量測等多個(gè)領(lǐng)域，被譽(yù)為中國“應用材料”。據悉，北方華創(chuàng )承擔了較多的02專(zhuān)項裝備項目，其驗證單位就是中芯國際。中芯國際承擔了北方華創(chuàng )大部分專(zhuān)項項目（半導體設備）的驗證工作，幫助北方華創(chuàng )完成了氧化爐、刻蝕機、清洗機等半導體設備90/55/40/28納米工藝驗證。北方華創(chuàng )能夠有如此多的產(chǎn)品打入28nm，中芯國際的功勞不可埋沒(méi)。
▲華海清科發(fā)展歷程
03.帶出五大材料供應商覆蓋硅片、光刻膠等領(lǐng)域除了半導體設備，安集科技、江豐電子、上海新陽(yáng)、晶瑞股份、滬硅產(chǎn)業(yè)等半導體材料上市公司也是“中芯鏈”的重要成員。1、滬硅產(chǎn)業(yè)：打破國際龍頭12英寸硅片壟斷滬硅產(chǎn)業(yè)成立于2015年12月，其旗下的上海新昇是我國首個(gè)12英寸半導體硅片供應商，為國產(chǎn)晶圓制造企業(yè)提供了自主、可控的12英寸硅片。研制12英寸硅片成功后，上海新昇在2018年陸續通過(guò)了上海華力微和中芯國際的驗證，正式打破了此前被信越化學(xué)、勝高、SK siltron等國際龍頭對12英寸大硅片的壟斷。2、上海新陽(yáng)：刻蝕清洗液等產(chǎn)品率先進(jìn)入中芯國際1999年7月，上海新陽(yáng)成立，其擁有完整自主可控知識產(chǎn)權的電子電鍍和電子清洗兩大技術(shù)，能夠為下游廠(chǎng)商提供化學(xué)材料、配套設備、應用工藝和現場(chǎng)服務(wù)一體化整體解決方案。具體來(lái)說(shuō)，上海新陽(yáng)是中芯國際的蝕刻清洗液供應商，其大馬士革硫酸銅、銅線(xiàn)干法蝕刻清洗液、鋁線(xiàn)干法蝕刻清洗液等產(chǎn)品率先用于中芯國際S1產(chǎn)線(xiàn)。3、安集科技：中芯國際助力實(shí)現國產(chǎn)替代安集科技成立于2006年2月，產(chǎn)品包括不同系列的化學(xué)機械拋光液和光刻膠去除劑等。安集科技為中芯國際批量供應CMP拋光液，中芯國際也是安集科技的第一大客戶(hù)。根據其招股書(shū)，2016年-2018年期間，安集科技對中芯國際的銷(xiāo)售占比分別達66.37%、66.23%和59.70%，其發(fā)展和中芯國際有著(zhù)緊密的聯(lián)系。在其支持下，安集科技打破了國際龍頭對集成電路領(lǐng)域化學(xué)機械拋光液和部分功能性濕電子化學(xué)品的壟斷，實(shí)現了進(jìn)口替代，并成為了行業(yè)主流供應商。
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