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MEMS運動(dòng)傳感器有助于提高手持設備的可靠性
- 以微機電系統(MEMS)集成電路(IC)形式實(shí)現的運動(dòng)傳感器正在蜂窩手持設備的未來(lái)發(fā)揮關(guān)鍵作用，這些MEMS加速計使...
- 關(guān)鍵字： 手持設備 MEMS 高通濾波 溫度穩定性 鍵盤(pán)尺寸 Tilt 削波 運動(dòng)傳感器 運動(dòng)檢測 運動(dòng)形式
基于A(yíng)RM與MEMS器件的微慣性測量裝置設計
- 在仿生推進(jìn)機理的研究中，精確測量魚(yú)類(lèi)尾鰭拍動(dòng)參數對于魚(yú)類(lèi)仿生推進(jìn)機理研究及工程應用具有重要的意義;然而，目前研究者大多采用分析高速攝像機拍攝的圖像獲得參數的觀(guān)測方法。這種方法受到環(huán)境與設備的限制，結果精確度較差。本設計是一種基于MEMS器件的生物運動(dòng)微慣性測量裝置。利用該裝置實(shí)現了對SPC-III機器魚(yú)尾鰭拍動(dòng)參數的精確測量，為國內首次利用MEMS器件進(jìn)行的活體魚(yú)尾鰭拍動(dòng)參數測量實(shí)驗打下了基礎，為機器魚(yú)仿生推進(jìn)設計理論提供支撐。 1 設計要求和系統結構 根據活體魚(yú)類(lèi)的生物特征和實(shí)驗本身的特
- 關(guān)鍵字： ARM MEMS
閃耀光柵數字微鏡的結構設計與驅動(dòng)仿真
- 基于MEMS的閃耀光柵數字微鏡顯示技術(shù)是一種全新的顯示技術(shù), 它的基本工作原理為：平行的復合白色光線(xiàn)以固定的入射角照射在閃耀光柵微鏡陣列上，驅動(dòng)電路驅動(dòng)每個(gè)像素單元的閃耀光柵微鏡偏轉不同角度，在特定的衍射方向上得到的R、G、B以及不可見(jiàn)波長(cháng)的光線(xiàn)經(jīng)過(guò)成像鏡頭后形成彩色畫(huà)面。 微鏡結構設計的基本要求 閃耀光柵數字微鏡顯示技術(shù)的核心部件是閃耀光柵數字微鏡。要達到便攜應用和投影應用的目的，閃耀光柵數字微鏡結構設計需滿(mǎn)足以下基本要求。 盡可能減小顯示單元的尺寸 為了得到準確的基色，要求
- 關(guān)鍵字： MEMS 閃耀光柵數字微鏡 結構 驅動(dòng)
單電容式及差分電容式MEMS傳感器檢測系統
- 摘要：傳感器技術(shù)是信息社會(huì )的四大支柱之一，傳感器和計算機結合形成的智能系統大大的拓展了人類(lèi)生活的空間。在傳感器家族中，根據電容的物理特性制作的傳感器占有重要地位。電容傳感器是很好的狀態(tài)傳感器，可提高電容檢測，尤其是微小電容檢測的精度，是目前測控技術(shù)的熱點(diǎn)。本文重點(diǎn)介紹一套微小電容差分高精度檢測電路，該套電路可測物體的運動(dòng)加速度，加速度計的分辨率可達2-18。 關(guān)鍵詞：電容式傳感器；MEMS；信號調理；檢測電路 電容式傳感器工作原理 ? 電容式傳感器分單電容式和差分電容式二種。如圖
- 關(guān)鍵字： 單電容式 差分電容式 MEMS 傳感器 200803
MEMS硅膜電容式氣象壓力傳感器的研制
- 1 引言 大氣壓力傳感器在工業(yè)生產(chǎn)、氣象預報、氣候分析、環(huán)境監測、航空航天等方面發(fā)揮著(zhù)不可替代的作用。傳統的壓力傳感器一般為機械式，體積比較大，不利于微型化和集成化。利用MEMS技術(shù)不僅可以解決上述缺點(diǎn)，還能極大地降低成本，而性能更為優(yōu)異。如今基于MEMS技術(shù)得到廣泛應用的壓力傳感器主要有壓阻式和電容式兩大類(lèi)，壓阻式壓力傳感器的線(xiàn)性度很好，但精度一般，溫漂大，一致性差;電容式壓力傳感器與之相比，精度更高，溫漂小，芯片結構更具魯棒性，但線(xiàn)性度差且易受寄生電容的影響。目前MEMS電容式壓力傳感器多用
- 關(guān)鍵字： MEMS
MEMS固態(tài)風(fēng)速風(fēng)向傳感器的設計與制作
- 1 引言 風(fēng)速及風(fēng)向的測量是氣象觀(guān)測中重要的一環(huán)。風(fēng)速風(fēng)向可以基于流體力學(xué)原理、熱學(xué)原理、聲學(xué)原理和仿生學(xué)原理來(lái)測量。熱式測風(fēng)儀基于風(fēng)對熱體的對流作用來(lái)測量風(fēng)速和風(fēng)向，其存在一個(gè)精密的熱源，通過(guò)把兩對相對的熱源與熱電偶正交放置測量風(fēng)向。超聲測風(fēng)儀可以同時(shí)進(jìn)行超聲波的發(fā)射和接收，基于多普勒效應測量風(fēng)速，用三個(gè)或者四個(gè)探頭根據三角關(guān)系測量風(fēng)向信息?；贛EMS技術(shù)傳感器有體積小、重量輕及成本低的特點(diǎn)，基于MEMS技術(shù)的風(fēng)速和風(fēng)向測量傳感器受到了研究者的重視。 本文介紹了基于MEMS的固態(tài)風(fēng)速風(fēng)
- 關(guān)鍵字： MEMS
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