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電子束
電子束 文章 進(jìn)入電子束技術(shù)社區
一種具有故障保護功能的掃描電源設計

- 在線(xiàn)性電子加速器系統的輻照處理過(guò)程中,需要根據商品的大小、形狀、體積等頻繁調整電子束的掃描寬度。這就要求掃描電源提供可變的交流電以產(chǎn)生磁場(chǎng),使產(chǎn)生的電子隨著(zhù)電流的變化而產(chǎn)生磁轉,并且產(chǎn)生的電子不會(huì )都打到一個(gè)點(diǎn)上,從而確保輻照物品接受輻照的均勻性。由于每種食品接受輻照的能量不同,所以不可能產(chǎn)生的電子束能量都一樣,為確保經(jīng)過(guò)電子束輻照的食品都滿(mǎn)足相應的要求,要通過(guò)控制掃描電源頻率和幅度來(lái)調節電子束偏轉大小和多少來(lái)控制輻照能量的大??;當束流管掃描電源出現故障時(shí),電源必須及時(shí)準確的報給主控臺,以保護束流管以及整個(gè)
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示波器的原理及應用

- 導讀:示波器是一種用途十分廣泛的電子測量?jì)x器。它能把肉眼看不見(jiàn)的電信號變換成看得見(jiàn)的圖象,便于人們研究各種電現象的變化過(guò)程。它是觀(guān)察數字電路實(shí)驗現象、分析實(shí)驗中的問(wèn)題、測量實(shí)驗結果必不可少的重要儀器 示波器的原理及應用--工作原理 示波器利用狹窄的、由高速電子組成的電子束,打在涂有熒光物質(zhì)的屏面上,就可產(chǎn)生細小的光點(diǎn)。在被測信號的作用下,電子束就好像一支筆的筆尖,可以在屏面上描繪出被測信號的瞬時(shí)值的變化曲線(xiàn)。利用示波器能觀(guān)察各種不同信號幅度隨時(shí)間變化的波形曲線(xiàn),還可以用它測試各種不同的電量,如
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KLA-Tencor 推出第十代電子束偵測系統
- KLA-Tencor 公司(納斯達克股票代碼:KLAC)今天宣布推出 eS35 電子束偵測系統,該系統能夠以大幅提升的速度檢測和分類(lèi)更小的物理缺陷,以及更細微的電子缺陷。eS35 屬于 KLA-Tencor 的第十代電子束偵測系統,它具備更高的靈敏度,改善了單機檢查和分類(lèi),并且顯著(zhù)加強了吞吐能力,以提高 4Xnm 和 3Xnm 設備的良率。 KLA-Tencor 的電子束技術(shù)部集團副總裁兼總工程師 Zain Saidin 表示:“電子束偵測對于捕獲和發(fā)現最小缺陷以及只能通過(guò)它們的電子
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22納米后EUV光刻還是電子束光刻?市場(chǎng)看法存分歧
- 浸潤式微顯影雙重曝光能進(jìn)一步延伸摩爾定律的壽命至32納米,不過(guò),22納米以下究竟哪種技術(shù)得以出頭,爭議不斷。據了解,臺積電目前正積極研發(fā)22納米以下直寫(xiě)式多重電子束(MEBDW)方案,并已有具體成果,但積極推動(dòng)深紫外光(EUV)的ASML則表示,目前已有數家客戶(hù)下單,最快2009年便可出貨,但哪種技術(shù)最終將「一統江湖」,尚未有定論。 ASML表示,目前深紫外光EUV的光波波長(cháng)可達13.5納米,約是248波長(cháng)的KrF顯影設備的15分之1,盡管浸潤式顯
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KLA-Tencor推出新一代電子束缺陷再檢查和分類(lèi)系統
- KLA-Tencor正式推出新一代晶片缺陷再檢查和分類(lèi)系統 eDR-5200。該系統綜合高分辨率圖像和高缺陷再檢查靈敏度,以及與 KLA-Tencor 光學(xué)檢測系統的獨特連接技術(shù),進(jìn)而實(shí)現更高的再檢查效能,更短的良率學(xué)習周期和更高的總體系統生產(chǎn)效率。KLA-Tencor 光學(xué)檢測系統和 eDR-5200 電子再檢查系統的獨特連接,確保生產(chǎn) 45 納米及以下的芯片廠(chǎng)每小時(shí)能建立更多, 更高品質(zhì)的缺陷 Pare
- 關(guān)鍵字: KLA-Tencor 測量 測試 電子束 工業(yè)控制 工業(yè)控制
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