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度量系統
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KLA-Tencor 新推出的 Aleris 8500 薄膜度量系統
- KLA-Tencor 公司推出 Aleris™ 系列薄膜度量系統，該系列從 Aleris 8500 開(kāi)始，是業(yè)界第一套將可用于生產(chǎn)的成份與多層薄膜厚度測定結合在一起的系統。其它 Aleris 系列系統將在未來(lái)數月內以不同配置推出，以滿(mǎn)足 45nm 節點(diǎn)及以下尺寸所有薄膜應用的性能與 CoO 要求。 KLA-Tencor 的薄膜與散射測量技術(shù)部 (Films and Scatterometry Technologies) 副總裁兼總經(jīng)理 Ahmad Khan 表示：“隨著(zhù)顯著(zhù)影響設備性
- 關(guān)鍵字： KLA-Tencor 度量系統 芯片 測量工具
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度量系統介紹
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