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KLA-Tencor 推出第十代電子束偵測系統
- KLA-Tencor 公司(納斯達克股票代碼:KLAC)今天宣布推出 eS35 電子束偵測系統,該系統能夠以大幅提升的速度檢測和分類(lèi)更小的物理缺陷,以及更細微的電子缺陷。eS35 屬于 KLA-Tencor 的第十代電子束偵測系統,它具備更高的靈敏度,改善了單機檢查和分類(lèi),并且顯著(zhù)加強了吞吐能力,以提高 4Xnm 和 3Xnm 設備的良率。 KLA-Tencor 的電子束技術(shù)部集團副總裁兼總工程師 Zain Saidin 表示:“電子束偵測對于捕獲和發(fā)現最小缺陷以及只能通過(guò)它們的電子
- 關(guān)鍵字: KLA-Tencor 電子束 偵測 半導體 微電子
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