電子材料出現融合趨勢，協(xié)作和多樣化日趨重要

　　加強對化學(xué)品輸送系統的關(guān)注

　　在大批量制造中是否能夠采用新型材料緊密相關(guān)的是要開(kāi)發(fā)出合適的化學(xué)品輸送系統。 因為所用的“特殊”材料及其物理性能差異極大，所以目前正在開(kāi)發(fā)更專(zhuān)門(mén)的輸送系統，能以一種產(chǎn)率最高、停機時(shí)間最少的方式將材料輸送到處理室(圖2)。 在許多情況下，為了確保材料的商業(yè)采用，實(shí)現這一點(diǎn)變得日益重要。

　　當前的經(jīng)濟環(huán)境使得對制造成本因素的審核比平常要嚴格得多。 每個(gè)因素都從其總擁有成本 (CoO) 角度進(jìn)行考慮。 正如所預期的那樣，這包括了由電子化學(xué)品供應商提供的生產(chǎn)耗材。 考慮 CoO 的其中一個(gè)關(guān)鍵是材料，適當時(shí)，還包括用合適的輸送系統輸送材料(例如液體或蒸汽)的必要形式。 在考慮總擁有成本 (CoO) 時(shí)，輸送系統是一個(gè)關(guān)鍵因素，因為它可能會(huì )顯著(zhù)減少工具的停機時(shí)間，確保更高的資產(chǎn)利用率，使各個(gè)流程能夠滿(mǎn)負荷運行，不出現停工情況，從而優(yōu)化工藝效率，并在不影響性能水平的前提下降低運營(yíng)成本。 從這方面講，SAFC Hitech 最新的蒸汽輸送系統 EpiVapor 可與我們現有的 Epifill 液體輸送系統互補，這兩個(gè)系統都是針對降低擁有成本 (CoO) 的需要而設計，可向沉積室不間斷地供應先驅體，從而盡量減少設備停機時(shí)間。 選擇使用什么輸送系統取決于裝置的工藝化學(xué)要求。

　　光伏產(chǎn)品和 LED 的興盛： III-V 族半導體和硅半導體的大規模生產(chǎn)會(huì )融合嗎?

　　隨著(zhù)全球對能源的需求日益超過(guò)供應能力并且能源成本日益增加，解決能源供需之間的缺口給半導體設備制造商和材料供應商們帶來(lái)不少機遇。 解決問(wèn)題的重點(diǎn)放在節能和開(kāi)發(fā)可再生、可持續的能源上。

　　為了既能利用它們的專(zhuān)業(yè)技術(shù)探索新的增長(cháng)點(diǎn)，又能在它們的傳統核心重點(diǎn)之外發(fā)揮重要影響，硅半導體制造商和設備提供商正在節能照明和光伏電池或模塊領(lǐng)域中尋找機會(huì )。 最近人們對用于照明應用的高亮度發(fā)光二極管 (HBLED) 的興趣激增，這為各硅半導體制造商開(kāi)創(chuàng )了巨大的商機，甚至到了讓人覺(jué)得從事硅設備和化合物半導體設備制造的公司之間歷史界限已經(jīng)“模糊”的地步。 由于預期各種應用中的設備無(wú)論是壽命還是效率上都會(huì )有顯著(zhù)的改善，目前 HBLED 的制造正在大幅增長(cháng)。 盡管最近 HBLED 制造增長(cháng)的主因是為了以 HBLED 替代 LCD 中的背板式冷陰極熒光燈 (CCFL) 照明，這種替代白熾燈和其它傳統燈具技術(shù)的常規照明技術(shù)的應用和采用正在加速發(fā)展到一個(gè)大規模采用的階段。