顏重光：國內MEMS加工工藝仍然存在差距

　　作為中國最早做傳感器的專(zhuān)家之一，上海傳感器協(xié)會(huì )秘書(shū)長(cháng)顏重光表示如今國內MEMS產(chǎn)業(yè)化仍然不夠成熟，尤其是加工方面與國外存在著(zhù)較大差距。

　　顏重光指出，MEMS與機械類(lèi)傳感器相比，精度相對差一些，主要是由于半導體自身的溫度特性有關(guān)，但如果與單片機配合進(jìn)行漂移補償，可以相應的增加精度。并且由于MEMS產(chǎn)品可以大批量生產(chǎn)，成本比較低因此非常適合消費類(lèi)產(chǎn)品的應用。

　　但其同時(shí)談到，盡管伴隨著(zhù)MEMS應用增加出貨量成倍增長(cháng)，量產(chǎn)起來(lái)仍然困難。主要原因是MEMS的加工方式與普通芯片不同，芯片為單面腐蝕而MEMS需要雙面腐蝕，因此需要增加相應的加工設備。

　　由于國內芯片加工工藝水平的不斷上升，晶圓廠(chǎng)陸續上馬8寸、12寸生產(chǎn)線(xiàn)，此時(shí)4寸生產(chǎn)線(xiàn)面臨著(zhù)淘汰，“與其擱置4寸生產(chǎn)線(xiàn)不如將其改造為MEMS生產(chǎn)線(xiàn)。”顏重光建議道。

　　在其最新的一篇文章中詳細分析了4寸生產(chǎn)線(xiàn)更新所需要的成本，可以看出轉產(chǎn)MEMS可以產(chǎn)生更多的利潤。不過(guò)顏重光表示，“實(shí)際上國內進(jìn)行轉產(chǎn)的企業(yè)并不多。MEMS與集成電路是截然不同的市場(chǎng)，很多人無(wú)法轉變觀(guān)念。”

　　MEMS由于內部結構不一樣，因此需要多樣化加工方式，包括陀螺儀里面的齒輪、壓力傳感器的薄膜或者梁結構、加速度計中的質(zhì)量塊或者氣泡等形式。因此這就給foundry廠(chǎng)帶來(lái)很大困難，很難有標準化工藝。盡管目前包括中芯國際等f(wàn)oundry都有MEMS代工業(yè)務(wù)，但也只限于針對生產(chǎn)線(xiàn)準備有MEMS制造工藝清單。因此，目前企業(yè)仍然自己開(kāi)發(fā)工藝后交給foundry進(jìn)行生產(chǎn)。

　　此外，顏重光還建議MEMS廠(chǎng)商在整體方案提供上也應繼續加強。