2009 Globalpress電子峰會(huì )：MEMS的增長(cháng)點(diǎn)在哪里

　　就在電子峰會(huì )的當天，Kionix向市場(chǎng)推出了最新的KXTF9三軸加速器，整合了Kionix公司單叩擊/雙叩擊(directional Tap/Double-Tap)接口，通過(guò)嵌入在KXTF9傳感器的ASIC內的算法來(lái)實(shí)現。該特性最多可以創(chuàng )建12種獨特的輕叩命令來(lái)實(shí)現專(zhuān)用功能。單叩擊/雙叩擊通過(guò)檢測物體6個(gè)面(±X、±Y和±Z)的任何一個(gè)面上是發(fā)生了單擊，還是雙擊來(lái)實(shí)現響應功能(圖1)。該算法使得加速器能夠辨別單/雙擊和叩擊發(fā)生在哪里。除了I2C接口以外，KCTF9的特性還包括用戶(hù)可編程輸出數據速度、按用戶(hù)定義采樣速率執行的A/D轉換、可選8位或12位分辨率、用戶(hù)可選加速度范圍(2g、4g和8g)和截止頻率用戶(hù)可選的數字高通濾波器。

　　其實(shí)，目前手機等便攜產(chǎn)品上最亮眼的MEMS應用是微型投影機。Microvision市場(chǎng)銷(xiāo)售副總裁Ian Brown在峰會(huì )上演示了名為SHOW的微型(7×20×40 mm)投影產(chǎn)品，可以投影出對角線(xiàn)12英寸至100英寸的畫(huà)面，畫(huà)面的分辨率達到WVGA (848×480)， 支持200%的NTSC色彩。讓Ian頗為自豪的是，和TI的DLP或者LCoS相比，PicoP顯示引擎的動(dòng)態(tài)范圍更高，達到10000:1。 Microvision把其中的核心技術(shù)稱(chēng)為PicoP顯示引擎，其中最關(guān)鍵的器件就是雙向MEMS掃描鏡，它聯(lián)接到兩個(gè)小的彎曲(flexure)，通過(guò)縱向和水平震蕩進(jìn)行逐個(gè)像素的捕捉(成像)或者復制(顯示)圖像(圖2)。