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Bosch選擇Lam Research的刻蝕系統用于MEMS制造

作者： 時(shí)間：2009-03-10 來(lái)源：SEMI 收藏

        全球領(lǐng)先的半導體晶圓制造設備供應商Lam Research近日宣布Robert Bosch GmbH選擇了其TCP 9400DsiE深硅刻蝕系統。Bosch是全球領(lǐng)先的MEMS傳感器制造商，特別專(zhuān)注于汽車(chē)傳感和消費電子市場(chǎng)。

本文引用地址：http://dyxdggzs.com/article/92240.htm

關(guān)鍵詞： Bosch 傳感器

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