Epson Toyocom推出小型高性能的水晶絕對壓力傳感器

　　Epson Toyocom公司最新開(kāi)發(fā)出具有±10帕（約一萬(wàn)分之一氣壓）的高精度與0.1帕的高分辨能力的高性能，且體積為12.5ml、重量為15g的小型水晶絕對壓力傳感器。 預計2009年度商品化。

　　壓力傳感器在通常情況下存在下述技術(shù)難題：小型化時(shí)會(huì )造成性能下降；追求高性能時(shí)又不得不增大構造。

　　Epson Toyocom在壓力檢測單元中采用音叉型晶體單元，由此可以得到安定度高的振蕩頻率，從而實(shí)現了具有高精度及高分辨能力的水晶壓力傳感器。在此之上又使用QMEMS技術(shù)新開(kāi)發(fā)出獨創(chuàng )的壓力傳感構造，使同時(shí)具有小型及高性能——這兩種相對性能的產(chǎn)品的實(shí)現變?yōu)榭赡?。為在氣象或安? 氣象觀(guān)測中大氣壓的高精度測試; 大氣壓變化的高低差(以約1cm為單位的高度)的測試;測試室內門(mén)窗等開(kāi)關(guān)而造成的微小的內部壓力變化)等使用壓力傳感器領(lǐng)域各種儀器的小型化及性能提高上做出貢獻。而且是通過(guò)搭載于周?chē)鷻C器，還可應用于高精度氣壓測試等新領(lǐng)域的可行性的產(chǎn)品。

　　現在，Epson Toyocom正將本產(chǎn)品所采用的獨創(chuàng )的壓力傳感構造不斷推廣到其它能夠適用于各種用途的水晶壓力傳感器的開(kāi)發(fā)上，今后亦將不斷推進(jìn)使用基于QMEMS技術(shù)的超精微加工技術(shù)、晶體振蕩器中醞釀出的高安定振蕩電路技術(shù)以及高精度檢測技術(shù)的進(jìn)化，創(chuàng )造出更高程度的高性能化和小型化。

【主要規格】