應用材料推出45納米光掩膜刻蝕技術(shù)設備

近日，應用材料公司宣布推出先進(jìn)的AppliedCenturaTetraTMIII掩膜刻蝕設備，它是目前唯一可以提供45納米光掩膜刻蝕所需要的至關(guān)重要的納米制造技術(shù)系統。TetraIII通過(guò)控制石英掩膜把刻槽深度控制在10Å以?xún)?，同時(shí)把臨界尺寸損失減小到10nm以下，使客戶(hù)可以在最重要的器件層交替使用相移掩膜和強有力的光學(xué)臨近修正技術(shù)。該系統為基于鉻、石英、氮氧硅鉬等多種新材料的下一代光刻技術(shù)應用提供無(wú)差錯、高產(chǎn)能的刻蝕工藝。 
      
應用材料公司資深副總裁，刻蝕、清潔、前道和離子注入產(chǎn)品事業(yè)部總經(jīng)理TomSt.Dennis表示：“TetraIII系統在先進(jìn)的二元掩膜及相移掩膜應用中的出色表現是幫助客戶(hù)實(shí)現45nm及更小技術(shù)節點(diǎn)掩膜產(chǎn)品的關(guān)鍵。隨著(zhù)業(yè)界開(kāi)發(fā)出一些潛在的新一代光刻解決方案，相關(guān)應用也以前所未有的速度不斷涌現。TetraIII系統能夠勝任所有光刻應用，在各種不同的光掩膜材料上完成刻蝕工作?！?nbsp; 

AppliedCenturaTetraIII系統所具有的超潔凈和技術(shù)擴展平臺使客戶(hù)可以在最先進(jìn)的掩膜上實(shí)現目前所能達到的最高產(chǎn)出。