諾發(fā)推出300mm VECTOR等離子增強化學(xué)氣相沉積平臺的最新增強版本

　　中國上?！?a class="contentlabel" href="http://dyxdggzs.com/news/listbylabel/label/諾發(fā)">諾發(fā)系統有限公司正式推出VECTOR Express™新產(chǎn)品。VECTOR Express™是諾發(fā)公司300mm VECTOR等離子增強化學(xué)氣相沉積（PECVD）平臺的最新增強版本。VECTOR Express的工藝生產(chǎn)速度提高了40%，保持了業(yè)界領(lǐng)先的生產(chǎn)效率。此外，VECTOR Express還建立了薄膜工藝性能的新標桿，使該設備能夠被延伸到45nm及以下工藝節點(diǎn)。

　　VECTOR Express之所以能夠顯著(zhù)提高生產(chǎn)效率和改善薄膜工藝性能，其關(guān)鍵在于SmartSoak™工藝新特點(diǎn)。SmartSoak采用了諾發(fā)VECTOR平臺獨特的多平臺順序處理（MSSP）結構，使晶圓加熱和薄膜淀積過(guò)程相互獨立開(kāi)來(lái)。通過(guò)這種方法可以使晶圓溫度在薄膜開(kāi)始沉積時(shí)變得更加穩定和一致，同時(shí)還能夠縮短薄膜沉積的時(shí)間。

　　客戶(hù)評估結果顯示，將具備SmartSoak技術(shù)的VECTOR Express系統用于500Å TEOS薄膜沉積時(shí)，0.08um大小的微粒缺陷水平是所有類(lèi)似產(chǎn)品中最低的。進(jìn)行40Å柵側壁氧化膜沉積時(shí)，薄膜厚度控  
制水平在1個(gè)原子層之上，表明該系統在晶圓內部以及晶圓與晶圓之間的薄膜厚度控制上具有非常出色的可重復性表現。

　　除了SmartSoak之外，VECTOR Express還采用了高精度和高速度的機械傳送零部件和晶圓自動(dòng)監測技術(shù)，使晶圓機械傳送和處理時(shí)間縮短了20%以上。此外，VECTOR Express還采用了先進(jìn)的材料傳輸新技術(shù)，進(jìn)一步確保該系統能夠被拓展到各種薄膜沉積工藝中。

　　自從于2006年第3季度開(kāi)始進(jìn)行beta測試以來(lái)，諾發(fā)已經(jīng)收到了20多份有關(guān)VECTOR Express系統的訂單，其中包括好幾個(gè)新客戶(hù)。VECTOR Express將于2007年第2季度正式用于生產(chǎn)。