國產(chǎn)半導體設備實(shí)現中低端突破
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半導體設備業(yè)需要創(chuàng )新
半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展遵循“摩爾定律”，其顯著(zhù)的特點(diǎn)就是更新?lián)Q代快，因此對其進(jìn)行支撐的設備制造業(yè)更需要加快研究進(jìn)程來(lái)滿(mǎn)足它。
北京七星華創(chuàng )電子股份有限公司微電子設備分公司總經(jīng)理盛金龍在接受《中國電子報》記者采訪(fǎng)時(shí)表示，半導體設備的發(fā)展本身就是技術(shù)創(chuàng )新的過(guò)程，IC以“摩爾定律”高速發(fā)展，其實(shí)其背后是以設備的創(chuàng )新和發(fā)展做支撐的，新的工藝技術(shù)總是用新一代設備實(shí)現的。
中電科技集團公司第45研究所副所長(cháng)王志越表示，創(chuàng )新對于半導體設備企業(yè)非常重要。當前半導體設備的最大特點(diǎn)是不僅僅提供硬件設備本身，而是承擔了包括工藝菜單、工藝控制及工藝集成的總體解決方案。也就是說(shuō)設備是來(lái)自于工藝，通過(guò)創(chuàng )新和工藝物化，又回歸于工藝。所以對于半導體設備企業(yè)來(lái)說(shuō)，“創(chuàng )新是賴(lài)以生存的基礎，是企業(yè)不斷發(fā)展的保障”，沒(méi)有創(chuàng )新的半
導體設備企業(yè)不可能生存。
北京京聯(lián)發(fā)數控科技有限公司董事長(cháng)秦建國告訴記者，創(chuàng )新給半導體企業(yè)帶來(lái)更好的活力、更高的效益，企業(yè)有了創(chuàng )新的產(chǎn)品及創(chuàng )新的技術(shù)就會(huì )在激烈的市場(chǎng)競爭中得到更快更好的發(fā)展，現在中國電子行業(yè)與國外電子同行相比，主要是技術(shù)、設備的落后，引進(jìn)新的技術(shù)、設備是國內電子行業(yè)發(fā)展的一個(gè)重要辦法，而更重要的是要中國電子專(zhuān)用設備的生產(chǎn)制造商能自主研發(fā)、生產(chǎn)出更好的新產(chǎn)品，為中國電子行業(yè)的發(fā)展提供一個(gè)良好的平臺。
保持源源不斷創(chuàng )新能力
創(chuàng )新是一項系統工程，企業(yè)要想在市場(chǎng)上擁有一席之地，必須具有源源不斷的創(chuàng )新能力，并不斷將其創(chuàng )新產(chǎn)品推向市場(chǎng)。國內半導體設備企業(yè)要想在被國外企業(yè)一統天下的設備領(lǐng)域有所作為，不斷創(chuàng )新是明智之舉。
王志越表示，首先，要建立起以分配機制為主的有效激勵的創(chuàng )新機制，貫徹落實(shí)國家有關(guān)科研成果、知識產(chǎn)權等要素全面參與分配精神。其次，要積極培育企業(yè)的創(chuàng )新能力，要著(zhù)重從企業(yè)決策機制、資源有效整合、科學(xué)管理、研發(fā)經(jīng)費投入等等方面不斷完善和提高，逐步使企業(yè)在基礎環(huán)節上具備創(chuàng )新與騰飛的本領(lǐng)。第三，“不拘一格降人才”，建立一支強大的創(chuàng )新團隊。第四，不能把自主創(chuàng )新同引進(jìn)技術(shù)對立起來(lái)。自主開(kāi)發(fā)并不意味故步自封。沒(méi)有一個(gè)國家能包攬所有源技術(shù)的開(kāi)發(fā)，必須互相借鑒?，F在，我們國家大部分行業(yè)在自我測評時(shí)都認為同發(fā)達國家的差距在10年-20年左右。不引進(jìn)技術(shù)，靠自己關(guān)起門(mén)來(lái)埋頭苦干是不行的。在大多數產(chǎn)業(yè)中，我們還必須站在別人的肩膀上前進(jìn)。此外國產(chǎn)化并不意味著(zhù)所有的零部件都必須要國內制造。在當今經(jīng)濟全球化的環(huán)境下，關(guān)鍵是擁有核心技術(shù)的知識產(chǎn)權。
秦建國告訴記者，企業(yè)要保持不斷的創(chuàng )新，首先應認識到創(chuàng )新給企業(yè)帶來(lái)的發(fā)展后勁，發(fā)展要依靠開(kāi)拓創(chuàng )新，創(chuàng )新產(chǎn)品要有三個(gè)方面支持：第一要有研發(fā)人員；第二要有資金支持；第三要有市場(chǎng)的需求。沒(méi)有人才就無(wú)法創(chuàng )新，沒(méi)有資金的支持也就談不上創(chuàng )新，市場(chǎng)是創(chuàng )新產(chǎn)品的目的。要使企業(yè)不斷地推出創(chuàng )新產(chǎn)品，就要結合人才、資金、市場(chǎng)三方面，這樣才能使企業(yè)不斷地發(fā)展壯大，一個(gè)好的創(chuàng )新方式會(huì )使企業(yè)得到很好的回報。
北京中科信電子裝備有限公司副總經(jīng)理孫勇表示，企業(yè)是創(chuàng )新的主體，企業(yè)只有在不斷的創(chuàng )新中才不會(huì )步入衰退期。這就要求具有適應社會(huì )各種變化能力的研發(fā)團隊，營(yíng)造創(chuàng )新的組織與文化精神。在創(chuàng )新的氛圍下，創(chuàng )新才有動(dòng)力，企業(yè)才有核心競爭力，才能立于不敗之地。此外，企業(yè)應整合各種社會(huì )資源，不關(guān)起門(mén)來(lái)搞創(chuàng )新，必須建立開(kāi)放式的創(chuàng )新平臺，吸納和整合各種資源，形成一個(gè)創(chuàng )新集群，一切為我所用，提高創(chuàng )新質(zhì)量。
初嘗創(chuàng )新甜果
在不斷創(chuàng )新動(dòng)力的推動(dòng)下，國內半導體設備企業(yè)取得一個(gè)又一個(gè)成果，他們或是從現有設備出發(fā)，努力開(kāi)拓新應用領(lǐng)域；或是面對全新的技術(shù)及工藝，讓國產(chǎn)設備用在國內IC大生產(chǎn)線(xiàn)；或是不斷改進(jìn)產(chǎn)品性能，最終替代進(jìn)口產(chǎn)品。
盛金龍告訴記者，他們在研制新設備的同時(shí)，不斷使用新的技術(shù)，運用新的知識，通過(guò)不斷創(chuàng )新，使設備達到新的水平。設備制造的創(chuàng )新，還需要體制創(chuàng )新、意識創(chuàng )新，設備制造的體制創(chuàng )新還在于引進(jìn)人才，通過(guò)智力的引入使國產(chǎn)設備與國際設備行業(yè)融合，通過(guò)這些融合，把國產(chǎn)設備提升到新的層次。正是在這種理念的引導下，他們研制成功了PECVD設備。事實(shí)上，他們研究薄膜淀積技術(shù)和相關(guān)設備已多年，以前的PECVD設備主要應用于IC行業(yè)。他們是在以前的研究基礎上對設備進(jìn)行較大的改進(jìn)以適應于太陽(yáng)能行業(yè)。應用于IC行業(yè)的PECVD裝片舟均采用鋁材料制作，其耐溫低、易變形的缺點(diǎn)使其不適用太陽(yáng)能行業(yè)。我們在做了大量試驗并參考了國外設備之后，最終采用了新裝片舟用來(lái)承載硅片。并根據實(shí)際使用情況不斷改進(jìn)其結構，逐步完善舟的設計，使其更加適用于大規模太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線(xiàn)，并不斷提升我國太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)鏈整體技術(shù)水平。
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