KLA-Tencor公司助力中國半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展

　　KLA-Tencor的業(yè)務(wù)涵蓋了半導體的多個(gè)領(lǐng)域，從硅片檢測到線(xiàn)寬量測，以及光罩部分，KLA-Tencor都在業(yè)界處于領(lǐng)先水平。同時(shí)，KLA-Tencor也在積極向LED等新的領(lǐng)域擴展。 除了這些業(yè)務(wù)以外，KLA-Tencor還提供技術(shù)支持與服務(wù)，幫助客戶(hù)實(shí)現更大的生產(chǎn)價(jià)值。KLA-Tencor在中國的總部位于上海，在北京、天津、蘇州、無(wú)錫、大連、西安、武漢都設有分支機構?？倖T工人數超過(guò)190人，裝機量突破了1600臺。KLA-Tencor非常重視中國市場(chǎng)，在中國進(jìn)行了持續的投資以實(shí)現進(jìn)一步的發(fā)展。我們立志于幫助中國客戶(hù)一起提升良率，降低生產(chǎn)成本，提高生產(chǎn)效率。

　　半導體制程控制設備的市場(chǎng)大約有49億美元，制程控制的成本大約占總生產(chǎn)成本的15%，在半導體制造中有著(zhù)舉足輕重的作用。KLA-Tencor用于研發(fā)的費用逐年遞增。大量的研發(fā)投入確保了KLA-Tencor在檢測技術(shù)上的領(lǐng)先地位?？蛻?hù)對未來(lái)的電子產(chǎn)品提出了更高的要求，包括更多的功能，更快的速度，更低的成本，更長(cháng)的電池使用壽命等。這就要求業(yè)界能夠提供更好的技術(shù)以實(shí)現這些需求。如果我們無(wú)法發(fā)現缺陷，那么就無(wú)法對缺陷定位;如果無(wú)法測量缺陷，那么就無(wú)法有效的控制制程。良率控制在整個(gè)制程中非常關(guān)鍵，產(chǎn)品從研發(fā)到上線(xiàn)大約為12到24個(gè)月。因此若無(wú)法迅速的使產(chǎn)品上線(xiàn)，那么將會(huì )會(huì )喪失市場(chǎng)份額和競爭力。

　　半導體產(chǎn)業(yè)面臨很多挑戰，有技術(shù)上的提升，也有成本上的挑戰，還有產(chǎn)業(yè)中持續進(jìn)行的兼并整合。同時(shí)產(chǎn)業(yè)也充滿(mǎn)著(zhù)不確定性。新的結構、材料以及封裝技術(shù)將取代2D產(chǎn)品。EUV光刻技術(shù)將被推遲到2018年以后。大尺寸的450mm晶圓也將有可能延遲。產(chǎn)業(yè)的整合帶來(lái)了更嚴峻的競爭。半導體的技術(shù)拐點(diǎn)非常難以預測。2011年業(yè)界預測EUV將在14nm使用，今天看來(lái)EUV技術(shù)有可能延遲到2018年的7nm節點(diǎn)。預測相對準確的是邏輯FinFET結構，它在2012年得以應用在實(shí)際生產(chǎn)中。

　　隨著(zhù)技術(shù)的進(jìn)步發(fā)展，制程的步驟越來(lái)越多，工藝也更加復雜化。例如在14nm, 采用EUV光刻技術(shù)的制程步驟將超過(guò)700步，而采用多重圖形技術(shù)的步驟則為1000步甚至更多。工藝窗口的挑戰要求幾乎“零缺陷”， 對工藝控制水平提出了更高的要求。KLA-Tencor與客戶(hù)進(jìn)行了緊密的合作。當客戶(hù)在生產(chǎn)和研發(fā)過(guò)程中遇到了新的挑戰時(shí)，KLA-Tencor的工程師在第一時(shí)間了解客戶(hù)的需求，借助自身強大的研發(fā)能力解決客戶(hù)的難題。經(jīng)過(guò)不斷的反饋與修正，最終實(shí)現和客戶(hù)之間的共同研發(fā)和進(jìn)步。

　　KLA-Tencor的產(chǎn)品線(xiàn)非常豐富，涵蓋了半導體制程的各個(gè)環(huán)節和技術(shù)節點(diǎn)，包括晶圓表面缺陷、光罩、薄膜、關(guān)鍵尺寸等等。KLA-Tencor的設備也同時(shí)提供數據的分析和儲存。在其它領(lǐng)域，如高亮度LED、MEMS、功率器件等，KLA-Tencor也為客戶(hù)提供了大量的先進(jìn)技術(shù)和機臺。

　　以下是媒體記者會(huì )上，我們對首席營(yíng)銷(xiāo)官Brian Trafas博士的采訪(fǎng)：

　　Q: 28nm節點(diǎn)的投入與產(chǎn)出并不完全匹配，KLA-Tencor如何看待這一問(wèn)題?

　　A: 更先進(jìn)的技術(shù)節點(diǎn)意味著(zhù)更大的研發(fā)投入，也就是成本的上升。所以隨著(zhù)成本的增加，良率的提升就顯得尤為重要，良率與成本需要達到平衡。同時(shí)要盡量縮短從研發(fā)到上線(xiàn)，再到最終產(chǎn)品的周期。上市的周期縮短了才能更快的實(shí)現盈利。KLA-Tencor一直致力于幫助客戶(hù)加快產(chǎn)品開(kāi)發(fā)周期，從而降低成本。

　　Q：可穿戴電子設備是半導體芯片應用的新領(lǐng)域。它具有更多的功能和很多的傳感器，意味著(zhù)芯片的結構也更加復雜。那么這樣復雜的芯片制造對于檢測技術(shù)提出了哪些新的挑戰?

　　A：我們非常贊同您的觀(guān)點(diǎn)。成本是非常重要的，更加復雜的功能確實(shí)對芯片制造提出了更高的要求，這些新的挑戰有很多是在封裝和良率控制方面。KLA-Tencor也有專(zhuān)門(mén)的機臺服務(wù)于這些領(lǐng)域。

　　Q：KLA-Tencor目前在中國的機臺數量超過(guò)1600臺，請問(wèn)今年的訂單狀況如何?對明年有什么預期?今年中國政府出臺了很多政策扶持產(chǎn)業(yè)發(fā)展，包括國家專(zhuān)項基金。 KLA-Tencor如何看待這些政策對產(chǎn)業(yè)的帶動(dòng)作用?

　　A: KLA-Tencor非?？粗刂袊袌?chǎng)。 KLA-Tencor在中國發(fā)展的這些年里，有時(shí)比較順利，有時(shí)也面臨很多問(wèn)題，目前，國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金(一期規模1200億)獲批，聚焦制造和設計兩個(gè)核心環(huán)節，同時(shí)北京、安徽、天津等地相繼出臺了集成電路扶持意見(jiàn)。因此，中國集成電路產(chǎn)業(yè)將迎來(lái)重要發(fā)展機遇。因此，KLA-Tencor公司也將加大在中國的投入力度，全力支持中國半導體行業(yè)發(fā)展。但總的來(lái)說(shuō)，道路是曲折的，前途是光明的，我們相信未來(lái)的中國市場(chǎng)會(huì )有很好的發(fā)展前景。無(wú)論產(chǎn)業(yè)的起起伏伏，我們看到了政府對半導體產(chǎn)業(yè)的大力支持，無(wú)論大環(huán)境還是小環(huán)境，中國的半導體產(chǎn)業(yè)正在向好的方向發(fā)展。雖然對未來(lái)做精確的預測比較難，但是未來(lái)的一年我們認為應該會(huì )是一個(gè)不錯的年份。KLA-Tencor在中國的客戶(hù)包括了幾乎所有的晶圓廠(chǎng)，無(wú)論是中國本土的華虹宏利、中芯國際，或是制程集中在6寸的先進(jìn)半導體，也包括了合資的企業(yè)例如海力士、TSMC、三星、Intel等。國內的很多半導體工藝設備廠(chǎng)商也是我們的客戶(hù)，因為他們需要用到KLA-Tencor的機臺來(lái)檢測自己的工藝是否合格?？傊?，KLA-Tencor對于中國的市場(chǎng)非常有信心。

　　Q：有一些外資企業(yè)通過(guò)參股中國本土半導體公司的方式來(lái)共享政府的紅利。請問(wèn)KLA-Tencor是否有計劃通過(guò)資金投入的方式獲得同樣的紅利?

　　A：KLA-Tencor在中國的研發(fā)投入一直在不斷加大，我們有一些專(zhuān)門(mén)的部門(mén)在負責這方面的事項。中國不僅有好的政策支持，也擁有大量的優(yōu)秀人才和市場(chǎng)，KLA-Tencor在未來(lái)會(huì )把一些可以拿到中國來(lái)的研發(fā)工作盡量放到中國來(lái)做。KLA-Tencor不僅為客戶(hù)提供服務(wù)和支持，同樣也在研發(fā)資金方面進(jìn)行持續的投入。

　　Q: KLA-Tencor目前在中國集中在上海及附近的地區，但是中國很多地方爭睹希望吸引到更多的公司到當地建廠(chǎng)或設立配套設施。請問(wèn)KLA-Tencor未來(lái)有沒(méi)有考慮將配套設施擴大到中國的其他區域?

　　A：上海市中國半導體產(chǎn)業(yè)最集中的地區，KLA-Tencor除了在上海設有辦事處外，在北京、西安、無(wú)錫等地也都有據點(diǎn)。我們的原則是客戶(hù)去哪里我們就去哪里。KLA-Tencor會(huì )盡自己的所能幫助客戶(hù)取得最大的成功。

　　Q：KLA-Tencor對未來(lái)LED產(chǎn)業(yè)有什么樣的規劃?對目前中國LED產(chǎn)能過(guò)剩的情況有什么看法?

　　A：KLA-Tencor的主要業(yè)務(wù)還是半導體，但是我們一直在關(guān)注LED產(chǎn)業(yè)，也注意到了產(chǎn)能過(guò)剩的現象。KLA-Tencor的LED產(chǎn)品主要集中于襯底的測量，以及高端LED工藝的檢測。另外襯底同樣也可以應用于其它的新興領(lǐng)域例如功率器件，因此對于KLA-Tencor來(lái)說(shuō)，我們的檢測設備擁有更廣闊的市場(chǎng)。受前兩年國內部分地方政府財政補貼引發(fā)企業(yè)投資熱潮，而LED照明市場(chǎng)又因價(jià)格過(guò)高制約市場(chǎng)普及的影響，國內LED產(chǎn)業(yè)近兩年深陷產(chǎn)能過(guò)剩困境。雖然現在中國LED產(chǎn)業(yè)目前雖面臨產(chǎn)能過(guò)剩，但未來(lái)肯定會(huì )扭轉過(guò)來(lái)。