電子鼻氣味識別傳感器的應用設計
壓電類(lèi)傳感器的基本特點(diǎn)是,與VOC的接觸響應形式體現為頻率的變化。它又分為石英晶體微量天平(QCM)傳感器和聲表面波(SAW)傳感器兩種。壓電類(lèi)傳感器既可以測量溫度和質(zhì)量的變化,又可測量壓力、力和加速度等參數,但在電子鼻系統中,它們一般只作為質(zhì)變量傳感探測器使用。QCM傳感器是一個(gè)幾毫米直徑的諧振盤(pán),盤(pán)面敷有聚合物材料,每面有一個(gè)與導線(xiàn)相連的金屬電極,結構如圖2所示。當該傳感器受振蕩信號激勵時(shí),便諧振于特征頻率(10Hz~30MHz),而一旦氣體分子被吸收到聚合物涂層表面,就增加了該盤(pán)的質(zhì)量,因此降低了諧振頻率,諧振頻率的高低與所吸收的氣體分子質(zhì)量成反比。QCM傳感器對不同氣體的響應、選擇性可通過(guò)調整諧振盤(pán)聚合物涂層來(lái)改變,而減小石英晶體的尺寸和質(zhì)量,并減小聚合物涂層的厚度,則可進(jìn)一步縮短傳感器的響應時(shí)間和恢復時(shí)間。
聲表面波(SAW)傳感器與QCM傳感器的主要區別為:
(1)瑞利波是經(jīng)SAW的表面運行,不是像QCM一樣通過(guò)其體內;
(2)SAW傳感器工作頻率更高,因此可產(chǎn)生更大的頻率變化。QCM的典型工作頻率僅是10MHz,而SAW器件則在幾百MHz;(4)由于SAW是平面器件,所以可用微電子工業(yè)普遍采用的光刻技術(shù)來(lái)制造,而不像QCM那樣需要微電子機械系統(MEMS)進(jìn)行三維處理,因此批量生產(chǎn)的成本更低。但是,SAW傳感器的信噪比遜于QCM傳感器,因此在許多情況下,前者的靈敏度要低于后者。
電子鼻傳感器的第三大類(lèi)是金屬氧化硅場(chǎng)效應管傳感器(MOSFET)。其工作原理是:VOC與催化金屬材料相接觸所生成的反應產(chǎn)物(如氫)會(huì )擴散通過(guò)MOSFET的控制極來(lái)改變器件的導電物性。如圖3所示,典型的MOSFET結構有一個(gè)P型襯底和在襯底上擴散的兩個(gè)摻雜濃度很高的N型區,兩個(gè)N區的金屬觸點(diǎn)分別稱(chēng)為源極和漏極。器件的靈敏度和選擇性可通過(guò)改變金屬接觸劑的類(lèi)型和厚度以及改變工作溫度來(lái)改變。MOSFET的優(yōu)點(diǎn)之一是可依托IC制造工藝,批量生產(chǎn)、質(zhì)量穩定,主要問(wèn)題是接觸反應產(chǎn)物(如氫)必須滲入催化金屬涂層來(lái)影響溝道中的電荷,這就對芯片的密閉封裝方式提出了更苛刻的要求。MOSFET與導電性傳感器一樣,也存在基準值漂移問(wèn)題。
第四類(lèi)實(shí)用的氣味傳感器是光纖傳感器。它對氣體化合物的響應形式是光譜色彩發(fā)生變化。如圖4所示,這種傳感器的主干部分是玻璃纖維,在玻璃纖維的各面敷有很薄的化學(xué)活性材料涂層?;瘜W(xué)活性材料涂層是固定在有機聚合物矩陣中的熒光染料,當與VOC接觸時(shí),來(lái)自外部光源的單頻或窄頻帶光脈沖沿光纖傳播并激勵活性材料,使其與VOC相互作用反應。這種反應改變了染料的極性,從而改變了熒光發(fā)射光譜。只要對許多敷有不同染料混合物的光纖器件構成的傳感器陣列產(chǎn)生的光譜變化進(jìn)行檢測分析,就可以確定對應的氣體化合物成分。光纖傳感器有很強的抗噪能力和極高的靈敏度,其靈敏度單位以ppb(十億分率)計,這是其它電子鼻傳感器類(lèi)型所遠不及的。
目前光纖傳感器的主要缺點(diǎn)是:
(1)其設備控制系統較復雜,成本較高。
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