一種新型MEMS微波功率傳感器的設計與模擬
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2．2 S參數模擬
本文中的傳感器是利用共面波導作為待測微波信號的傳輸線(xiàn)將其引入到測量系統中，其特性阻抗為50 Q。為了將微波信號轉化為熱量，在CPW 的末端配以四個(gè)純阻性負載電阻，每個(gè)電阻的阻值均為200 Q。對于微波信號而言，四個(gè)200 Q的是并聯(lián)的，因而形成50 Q的負載，與CPW 的特性阻抗相等，從而達到阻抗匹配的效果。
使用高頻模擬軟件HFSS模擬了傳統結構和三明治結構的回波損耗S 模擬中使用的傳感器結構參數與上面相同，模擬結果如圖5所示。
圖5(b) 使用H上t 模擬的S11
(A 曲線(xiàn)為三明治結構；B曲線(xiàn)為傳統結構)
從圖5(b)可以看出，三明治結構與傳統結構的回波損耗基本一致，在1～6 GHz的頻率范圍內，三明治結構的S 小于一30 dB，在6～2O GHz的頻率范圍內，S 小于一20 dB，保持了較小的損耗，顯示了良好的匹配特性。
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