固態(tài)壓阻壓力傳感器應用指南

半導體單晶硅材料在受到外力作用，產(chǎn)生肉眼根本察覺(jué)不到的極微小應變時(shí)，其原子結構內部的電子能級狀態(tài)發(fā)生變化，從而導致其電阻率劇烈的變化，由其材料制成的電阻也就出現極大變化，這種物理效應叫壓阻效應。人類(lèi)是在本世紀五十年代才開(kāi)始發(fā)現和研究這一效應的應用價(jià)值的。利用壓阻效應原理，采用三維集成電路工藝技術(shù)及一些專(zhuān)用特殊工藝，在單晶硅片上的特定晶向，制成應變電阻構成的惠斯頓檢測電橋，并同時(shí)利用硅的彈性力學(xué)特性，在同一硅片上進(jìn)行特殊的機械加工，集應力敏感與力電轉換檢測于一體的這種力學(xué)量傳感器，稱(chēng)為固態(tài)壓阻傳感器。以氣、液體壓強為檢測對象的則稱(chēng)為固態(tài)壓阻壓力傳感器，它誕生于六十年代末期。顯然，它較之傳統的膜合電位計式，力平衡式，變電感式，變電容式，金屬應變片式及半導體應變片式傳感器技術(shù)上先進(jìn)得多，目前仍是壓力測量領(lǐng)域最新一代傳感器。由于各自的特點(diǎn)及局限性，它雖然不能全面取代上述各種力學(xué)量傳感器，但是，從八十年代中期以后，在美，日，歐傳感器市場(chǎng)上，它已是壓力傳感器中執牛耳的品種，并與壓電式幾乎平分了加速度傳感器的國際市場(chǎng)。目前，在以大規模集成電路技術(shù)和計算機軟件技術(shù)介入為特色的智能傳感器技術(shù)中，由于它能做成單片式多功能復合敏感元件來(lái)構成智能傳感器的基礎，因此，它仍然最受矚目。

主要特點(diǎn)：

1. 靈敏度高

硅應變電阻的靈敏因子比金屬應變片高50～100倍，故相應的傳感器靈敏度很高，一般滿(mǎn)量程輸出為100mv左右。因此對接口電路無(wú)特殊要求，應用成本相應較低。由于它是一種非機械結構傳感器，因而分辨率極高，國外稱(chēng)之無(wú)限，即主要受限于外界的檢測讀出儀表限制及噪聲干擾限制，一般均可達傳感器滿(mǎn)量程的十萬(wàn)分之一以下。硅壓阻傳感器在零點(diǎn)附近的低量程段無(wú)死區，且線(xiàn)性?xún)?yōu)良。

2. 精度高

由于固態(tài)壓阻壓力傳感器的感受，敏感轉換和檢測三部分由同一個(gè)元件實(shí)現，沒(méi)有中間轉換環(huán)節，所以不重復性和遲滯誤差極小。同時(shí)由于硅單晶本身剛度很大，形變很小，保證了良好的線(xiàn)性，因此綜合靜態(tài)精度很高。

3. 體積小、重量輕、動(dòng)態(tài)頻響高

由于芯體采用集成工藝，又無(wú)傳動(dòng)部件，因此體積小，重量輕。小尺寸芯片加上硅極高的彈性模數，敏感元件的固有頻率很高。在動(dòng)態(tài)應用時(shí)，動(dòng)態(tài)精度高，使用頻帶寬，合理選擇設計傳感器外型，使用帶寬可以從零頻至100千赫茲。

4. 性能穩定、可靠性高

由于工作彈性形變低至微應變數量級，彈性薄膜最大位移在亞微米數量級，因而無(wú)磨損、無(wú)疲勞、無(wú)老化。壽命長(cháng)達107壓力循環(huán)次以上。

5. 溫度系數小

由于微電子技術(shù)的進(jìn)步，四個(gè)應變電阻的一致性可做的很高，加之激光修調技術(shù)、計算機自動(dòng)補償技術(shù)的進(jìn)步，目前硅壓阻傳感器的零位與靈敏度溫度系數已可達10-5/℃數量級,即在壓力傳感器領(lǐng)域已超過(guò)溫度系數小的應變式傳感器的水平。

6. 適應介質(zhì)廣

由于硅的優(yōu)良化學(xué)防腐性能，與硅油的良好可兼容性，使得隔離式結構易于實(shí)現，即使非隔離型的壓阻壓力傳感器，也有相當程度的適應各種介質(zhì)的能力。

7. 安全防爆

由于其低電壓、低電流的低功耗特點(diǎn)，它是本質(zhì)安全防爆型產(chǎn)品，可廣泛用于各種化工工業(yè)檢測控制等領(lǐng)域，具有最優(yōu)性?xún)r(jià)比。