微諧振傳感器同頻干擾的建模與消除
筆者以靜電激勵/電容拾振諧振式硅微加速度傳感器為例,分析了同頻干擾產(chǎn)生的原因并提出一種新的解決方法。
1、同頻干擾的分析與建模
靜電激勵/電容拾振硅微諧振傳感器的諧振梁敏感結構尺寸非常小,存在強烈的同頻干擾信號。同頻干擾主要有以下3個(gè)耦合途徑(如圖1所示):
① 極板間耦合電容。由于激振極板與拾振極板距離較近,激振極板的交流電壓信號可以通過(guò)耦合電容Coh1。作用在拾振極板上形成耦合干擾。
② 引線(xiàn)間耦合電容。激振極板的引線(xiàn)與拾振極板的引線(xiàn)之間存在耦合電容(Coh2)。主要是由于極板的引線(xiàn)較長(cháng),一般可以達到幾毫米,所以激振信號通過(guò)Coh2耦合到拾振極板的引線(xiàn)上,形成同頻干擾。
③ 感應電動(dòng)勢。由于拾振電路構成一個(gè)閉合回路,所以激振的交變信號會(huì )在拾振回路中產(chǎn)生感生電動(dòng)勢Vn,此電勢也是一個(gè)同頻干擾源。
圖1 硅微諧振式傳感器同頻干擾模型
圖2 同頻干擾耦合的電路等效模型
由上述分析可知,同頻干擾主要是由耦合電容和感生電動(dòng)勢組成,由此提出兩次差分的方法消除同頻干擾,建立了圖3所示的雙端差分激勵/雙端差分檢測的接口電路。
圖3 雙端差分激勵/雙端差分檢測原理圖
其電路等效模型如圖4所示,具體分析如下。
(1) 雙端差分激勵
在這里只對一側的差分激勵進(jìn)行分析。諧振梁的一側有2個(gè)激振極板,這2個(gè)極板上的激振信號相位相差180。,在忽略Vn的前提條件下[Vn將在第二次差分時(shí)消除],取樣電阻R上的輸出干擾信號為
圖4 雙端差分激勵/雙端差分檢測耦合干擾等效電路圖
本結構采用了雙端拾振的方式,對輸出信號進(jìn)行雙端差分檢測,從而在放大有用信號的同時(shí)消除同頻干擾。如圖5所示,在上下2個(gè)拾振極板構成的2個(gè)檢測回路中的感生電動(dòng)勢Vn1和Vn2近似相等(結構對稱(chēng)性),使用差動(dòng)運算可以將其消除。然而差動(dòng)檢測不僅可以消除同頻干擾,對于測量過(guò)程中的各中噪聲均可以有效的消除,進(jìn)而顯著(zhù)提高信噪比。
圖5 雙端差分檢測等效電路圖
這種設計不僅僅能夠有效地消除同頻干擾,與常規的設計相比還有以下的優(yōu)點(diǎn):
① 與單端激勵、單端檢測的硅微諧振式傳感器相比,這種結構能夠有效消除靜電作用力中直流分量和二倍頻分量帶來(lái)的干擾。在靜電力作用下諧振梁的受力為
② 與單梁結構雙端激勵雙端檢測的硅微諧振式傳感器相比,這種結構在諧振梁上支出齒子來(lái),可以顯著(zhù)提高拾振電容的面積,從而為微弱電容的檢測提供了方便。
3、結束語(yǔ)
硅微諧振式傳感器的干擾主要是同頻干擾,這種干擾的存在不僅影響測量的精度,嚴重的會(huì )導致無(wú)法閉環(huán),從而使傳感器無(wú)法工作,筆者在分析同頻干擾的各種耦合途徑的基礎上,提出同頻干擾的等效模型和雙端差分激勵/雙端差分檢測的方法,通過(guò)兩次差分來(lái)消除同頻干擾,為硅微諧振式傳感器成功閉環(huán)和高Q值的獲取打下基礎。
評論