Edwards新型大容量渦輪分子真空泵最大化提升性能

　　Edwards有限公司(Edwards Limited)是一家全球領(lǐng)先的真空設備和尾氣處理系統制造商及相關(guān)增值服務(wù)提供商，該公司日前推出了其STP-iXA4506大容量渦輪分子泵 (TMP)。這款產(chǎn)品旨在為半導體、平板顯示器、LED和太陽(yáng)能電池板制造商節省更多成本。

　　Edwards公司 TMP產(chǎn)品營(yíng)銷(xiāo)經(jīng)理Shinichi Yoshino 表示：“新型STP-iXA4506渦輪泵是擁有改良抽氣性能的一體化解決方案。它采用了Edwards最新的轉子設計和成熟且高度可靠的iXA系列機載控制器，使容許通過(guò)的氣量最大化，從而使高流量過(guò)程所需的渦輪泵數量減至最小，尤其是在太陽(yáng)能和平板應用中。泵集成的控制器免去了對線(xiàn)纜和獨立控制器機架的需求，因而也節省了成本，體積緊湊易于在各種應用中快速安裝。此外，就像我們所有的磁浮式渦輪泵一樣，無(wú)需機械軸承的特性幾乎免除了定期維護的成本?！?/p>

　　這款渦輪泵的高抽速度(4300 l/s N2) 和高流量(高達4300 sccm N2)結合其有效抽吸輕氣體和重氣體的能力，使STP-iXA4506非常適用于許多不同的大流量、高流動(dòng)性應用，包括半導體蝕刻、LCD蝕刻、玻璃鍍膜、太陽(yáng)能PVD和PVD鍍膜。其高度集成的設計包括一個(gè)完全密封的電子模組，以在最嚴苛的工廠(chǎng)環(huán)境中實(shí)現穩健、可靠的操作。需要時(shí)還可增加一套加熱系統，以減少來(lái)自工藝過(guò)程中副產(chǎn)物的沉積物和微粒的堆積。