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降低成本提高效率 MEMS動(dòng)態(tài)晶圓測試系統
作者：
時(shí)間：2013-10-14
來(lái)源：網(wǎng)絡(luò )
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ans: 2; widows: 2; webkit-text-stroke-width: 0px">一個(gè)MEMS電容的加速度計通過(guò)兩種生產(chǎn)流程來(lái)制造。一種流程使用傳統的晶圓測試方法，而另外一種流程使用動(dòng)態(tài)晶圓測試方法。STI3000動(dòng)態(tài)晶圓測試的數據使得最終器件級測試的合格率提高了40%。
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