歐姆龍高精度16x16單元型非接觸式溫度傳感器

近期，根據歐姆龍株式會(huì )社宣布，歐姆龍已完成世界首次應用晶圓級真空封裝技術(shù)的紅外線(xiàn)傳感器的研發(fā)，成功開(kāi)發(fā)了具有90度廣視野范圍并可實(shí)現高精度區域溫度檢測的16x16單元型非接觸式溫度傳感器，并擬于2013年10月開(kāi)始出售樣品。

　　由于普遍用于人感傳感器的熱電傳感器無(wú)法檢測靜止不動(dòng)的人物，所以難以檢測人數及人物所處位置。鑒于這種情況，歐姆龍開(kāi)發(fā)了能夠檢測靜止人物，具有90度廣視野范圍并可實(shí)現高精度區域溫度檢測，用于人感傳感器的16×16單元型MEMS非接觸式溫度傳感器。

　　MEMS非接觸式溫度傳感器通過(guò)應用MEMS技術(shù)的熱電堆將對象物體發(fā)出的紅外線(xiàn)能源變?yōu)闊崮?，并通過(guò)兩種金屬接點(diǎn)之間溫差所形成的熱電動(dòng)勢測量溫度。由于熱電堆所轉換的熱能大多數都會(huì )通過(guò)空氣散失，所以在金屬接點(diǎn)之間難以形成較大的溫差，致使熱電動(dòng)勢變小，無(wú)法提高靈敏度。

　　這一次，世界首次成功將熱電堆真空封裝在芯片內。采用真空封裝即可避免將熱電堆轉換的熱能散失在空氣中，使金屬接點(diǎn)之間的溫差變大，從而可實(shí)現更高的靈敏度。

　　今后將與用于檢測人數及人物所處位置的演算法及非接觸式溫度傳感器結合在一起，作為組件化的人體傳感器竭力實(shí)現商品化。

　　據悉，配有該非接觸式溫度傳感器的人感傳感器展品將于7月3日（周三）至5日（周五），在日本東京Big Sight舉辦的“Nano Micro Biz 2013（原Micro Machine / MEMS展覽會(huì )）”展出。