怎樣保證分子真空泵穩定且持久地運行？

作為一種真空獲得設備，分子真空泵（以下簡(jiǎn)稱(chēng)分子泵）因其工作穩定可靠，在分子流態(tài)下具有很好的抽氣效率，已經(jīng)成為清潔高真空、超高真空應用領(lǐng)域的主流設備，在科學(xué)儀器、工業(yè)生產(chǎn)中得到廣泛應用。

圖表：分子泵在下游中的主要應用¹

在進(jìn)入21世紀之前，分子泵主要存在于科研與國防軍工領(lǐng)域。近十年間，隨著(zhù)鍍膜、節能燈、顯示屏等新興產(chǎn)業(yè)的興起，分子泵逐漸在民用領(lǐng)域嶄露頭角并取得了快速發(fā)展²。尤其是半導體產(chǎn)業(yè)國產(chǎn)化進(jìn)程的不斷推進(jìn)和新能源鋰電池、光伏設備需求增長(cháng)，使得國內分子泵行業(yè)的市場(chǎng)規模一直處于上升趨勢。相關(guān)機構預測到2026年，中國分子泵行業(yè)市場(chǎng)規模將達到31.0億元。

近幾年，分子泵向智能、靈活、高效的方向發(fā)展，在傳統分子泵基礎上，可實(shí)現無(wú)接觸支撐、高效率、高壽命的磁懸浮分子泵等產(chǎn)品獲得廣泛應用。產(chǎn)品核心技術(shù)大力發(fā)展的同時(shí)，與其配套的產(chǎn)品服務(wù)也向著(zhù)更加專(zhuān)業(yè)、經(jīng)濟、高效的人性化方向邁進(jìn)，這也是市場(chǎng)競爭發(fā)展的趨勢之一。

分子泵的工作原理

分子泵的抽氣機理與機械泵靠泵腔容積變化進(jìn)行抽氣的機理不同。分子泵是基于動(dòng)量傳遞原理，在變頻電源驅動(dòng)電機的帶動(dòng)下高速旋轉，分子流區域內氣體分子與高速轉動(dòng)的葉片表面碰撞，動(dòng)量傳遞給氣體分子，使部分氣體分子產(chǎn)生定向流動(dòng)而被排出泵外，從而達到抽氣的目的。

分子泵應用于高真空和超高真空度范圍（約10^-1~10^-8Pa），無(wú)法在大氣壓強下直接使用，其正常工作需要一定的啟動(dòng)壓強（分子泵啟動(dòng)壓強一般為0.1~100Pa），通常使用時(shí)需要連接低真空泵種作為前級預抽真空泵。分子泵機組是以分子泵為主泵，以旋片泵、渦旋泵為前級泵串聯(lián)而成的組合真空設備，運行后能迅速使密閉空間獲得高真空。

分子泵按結構和工作原理可分為渦輪分子泵、牽引分子泵和復合分子泵三種。

分子泵分類(lèi)：（a）渦輪分子泵。（b）復合分子泵

立式渦輪分子泵的結構組成

分子泵維護保養的專(zhuān)業(yè)性

雖然分子泵已經(jīng)走進(jìn)工業(yè)領(lǐng)域的各個(gè)環(huán)節，但在應用端許多人對它卻并不熟悉。不同于傳統的油擴散泵，分子泵是一種高精密機械設備。例如，分子泵抽氣單元部分，其中最小間隙小于0.5mm，最大也不超過(guò)3mm。而且分子泵的主軸精度都在微米量級，微量的形變就會(huì )導致設備發(fā)生故障²。

普發(fā)渦輪分子泵中的復合軸承懸浮設計³

另外，分子泵對于開(kāi)機檢查、存放的溫度與相對濕度及拆卸步驟都有明確要求。其復雜的理論與結構決定了分子泵維護、維修與保養的難度。只有了解并掌握專(zhuān)業(yè)的知識理論和實(shí)操經(jīng)驗，才能使分子泵穩定、持久地工作。

分子泵的維修流程

綜上，高質(zhì)量的分子泵，背后需要專(zhuān)業(yè)的維修保養團隊給予技術(shù)支持，以獲得更長(cháng)的設備使用率和更低的設備故障率。在實(shí)際應用中，此項工作一般是由分子泵設備制造商來(lái)完成的。所以，分子泵的售后服務(wù)對于客戶(hù)來(lái)說(shuō)，是產(chǎn)品本身不可或缺的一部分。

普發(fā)真空中國服務(wù)理念

普發(fā)真空作為全球領(lǐng)先的真空設備和服務(wù)供應商，在提升技術(shù)核心競爭力，保證分子泵產(chǎn)品質(zhì)量的同時(shí)，也為客戶(hù)提供了一流的服務(wù)體系，確保分子泵高效且長(cháng)久運行。為此，普發(fā)真空推出中國服務(wù)理念，致力于提供性能可靠的產(chǎn)品和優(yōu)質(zhì)的服務(wù)以滿(mǎn)足國內市場(chǎng)需求。

針對真空設備的維護、保養及維修，普發(fā)真空中國服務(wù)理念有開(kāi)機檢測、預防性保養服務(wù)及設備故障報修服務(wù)三大專(zhuān)業(yè)措施。

● 在設備使用前，普發(fā)真空提供免費的開(kāi)機檢測服務(wù)。專(zhuān)業(yè)的安裝、開(kāi)機設定、健康檢測及日常維護保養培訓，確保分子泵及相關(guān)設備正常投入使用。

● 在設備使用中，普發(fā)真空提供預防性保養服務(wù)。專(zhuān)業(yè)人員到場(chǎng)對設備進(jìn)行保養，現場(chǎng)更換工作液、密封件、易損件及現場(chǎng)點(diǎn)檢。如需返廠(chǎng)保養，普發(fā)真空會(huì )對設備進(jìn)行全面的檢查和檢測，徹底更換工作液、全面更換密封件和易損件，并提供延保6個(gè)月的支持。

● 如設備出現故障，普發(fā)真空提供設備故障報修服務(wù)。服務(wù)前普發(fā)真空將與客戶(hù)進(jìn)行溝通，預判故障原因和點(diǎn)位，讓現場(chǎng)服務(wù)更高效。支持現場(chǎng)更換服務(wù)，比如渦輪分子泵可現場(chǎng)更換軸承。如果需要返廠(chǎng)維修，普發(fā)真空擁有標準交換服務(wù)，即可提供一臺同型號運行良好的設備，以確保生產(chǎn)的有序進(jìn)行。

普發(fā)真空保證以上所有服務(wù)都采用原廠(chǎng)的配件和工具并出具檢測報告，服務(wù)執行標準通過(guò)全球認證。標準交換服務(wù)提供的良品均經(jīng)過(guò)認證，并提供等同質(zhì)保。

專(zhuān)業(yè)設備+完善服務(wù)，不僅僅是客戶(hù)保障生產(chǎn)安全和生產(chǎn)效率的關(guān)鍵，也是助力真空行業(yè)健康穩定發(fā)展的重要舉措。從原廠(chǎng)備件到定制服務(wù)，普發(fā)真空專(zhuān)業(yè)的銷(xiāo)售工程師和維修團隊一直踐行反應快速且經(jīng)濟實(shí)惠的端到端服務(wù)，成為時(shí)刻陪伴客戶(hù)的真空技術(shù)專(zhuān)業(yè)管家。

作者：iVacuum真空聚焦

參考文獻

1 圖表來(lái)源于前瞻產(chǎn)業(yè)研究院

2 《分子真空泵的理論與實(shí)踐》 第九章-分子泵的維護保養和維修，作者：巴德純，王曉冬等

3 圖片來(lái)源于普發(fā)真空官網(wǎng)