分子真空泵 文章 進(jìn)入分子真空泵技術(shù)社區

怎樣保證分子真空泵穩定且持久地運行？

• 作為一種真空獲得設備，分子真空泵（以下簡(jiǎn)稱(chēng)分子泵）因其工作穩定可靠，在分子流態(tài)下具有很好的抽氣效率，已經(jīng)成為清潔高真空、超高真空應用領(lǐng)域的主流設備，在科學(xué)儀器、工業(yè)生產(chǎn)中得到廣泛應用。圖表：分子泵在下游中的主要應用1在進(jìn)入21世紀之前，分子泵主要存在于科研與國防軍工領(lǐng)域。近十年間，隨著(zhù)鍍膜、節能燈、顯示屏等新興產(chǎn)業(yè)的興起，分子泵逐漸在民用領(lǐng)域嶄露頭角并取得了快速發(fā)展2。尤其是半導體產(chǎn)業(yè)國產(chǎn)化進(jìn)程的不斷推進(jìn)和新能源鋰電池、光伏設備需求增長(cháng)，使得國內分子泵行業(yè)的市場(chǎng)規模一直處于上升趨勢。相關(guān)機構預測到2026
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