矽電-泰克晶圓級探針測試測量聯(lián)合實(shí)驗室正式成立

泰克科技（中國）有限公司和矽電半導體設備（深圳）股份有限公司戰略合作發(fā)布會(huì )在深圳創(chuàng )投大廈矽電總部召開(kāi)，同一時(shí)間，泰克（中國）和矽電半導體宣布測試測量聯(lián)合實(shí)驗室正式成立。

毫無(wú)疑問(wèn)，由于雙碳目標及綠色生態(tài)的政策傾向，ESG浪潮來(lái)襲，以SiC（碳化硅）和GaN（氮化鎵）為代表的第三代半導體已經(jīng)成為高性能器件廠(chǎng)商的優(yōu)先選擇，功率器件也成為中國半導體市場(chǎng)的新亮點(diǎn)。市場(chǎng)調研機構Yole最新研究報告指出，全球功率半導體器件市場(chǎng)將從2020年的175億美元增長(cháng)至2026年的262億美元，而其中約70%來(lái)自汽車(chē)市場(chǎng)。

隨之而來(lái)的是第三代半導體芯片和功率器件研發(fā)、生產(chǎn)中的測試測量難點(diǎn)和挑戰，如高壓放電、大電流測試、高溫性能測試、超薄翹曲晶圓轉運等難題。

矽電半導體作為國內半導體產(chǎn)線(xiàn)批量點(diǎn)測設備的頭部生產(chǎn)廠(chǎng)家，經(jīng)過(guò)20年的技術(shù)累積，掌握了探針測試多項核心關(guān)鍵技術(shù)，其產(chǎn)品涵蓋集成電路、光電芯片、分立器件、第三代半導體等領(lǐng)域。泰克（中國）作為國際領(lǐng)先的測試測量解決方案供應商，可以提供全流程半導體參數測試方案。泰克（中國）和矽電半導體的強強聯(lián)手，有助于高效解決業(yè)內這些測試難點(diǎn)，在晶圓級測試節點(diǎn)提供WAT、CP、WLR、KGD等測試，在模塊級測試節點(diǎn)提供動(dòng)靜態(tài)參數測試、封測和可靠性測試，覆蓋了整個(gè)化合物半導體功率器件全制程。

泰克（中國）和矽電半導體自2015年開(kāi)展合作以來(lái)，在LED Wafer點(diǎn)測市場(chǎng)，取得了突破和進(jìn)展。本次泰克和矽電戰略合作意向書(shū)的簽署，將“進(jìn)一步發(fā)展和深化在Wafer Acceptance Test（簡(jiǎn)稱(chēng)WAT）市場(chǎng)的戰略合作，以期進(jìn)一步開(kāi)拓中國市場(chǎng)，為客戶(hù)在WAT測試領(lǐng)域提供整體性解決方案，并為客戶(hù)降低成本以提高競爭力”。

與此同時(shí)，矽電-泰克晶圓級探針測試測量聯(lián)合實(shí)驗室也宣布正式成立。此聯(lián)合實(shí)驗室旨在強化國產(chǎn)化合物半導體功率器件測試驗證的能力，進(jìn)一步探究和優(yōu)化基于高精度和高吞吐率下的一過(guò)性解決方案。實(shí)驗室提供了可用于12寸、8寸晶圓的全自動(dòng)探針臺，具備

●   支持最高3000V/100A的高壓及大電流測試

●   探針系統測試漏電流<100pA@1000V

●   WLR支持實(shí)現TDDB, NBTI, PBTI, HCI 等測試功能

●   支持高溫測試，溫度可達200°C

●   特殊絕緣設計避免擊穿和打火，靜態(tài)測試最高電壓3000V，動(dòng)態(tài)測試最高電壓2000V

●   搬運/探針部分與測試部分分離，可擴展性強

●   支持鐵環(huán)，藍膜，華夫盒，Tap Reel等進(jìn)出料方式

●   支持多臺站并行測試