艾邁斯歐司朗與愛(ài)思強宣布,面向Micro LED應用的200mm晶圓AIXTRON G5+ C和G10-AsP系統已獲艾邁斯歐司朗認證

全球領(lǐng)先的光學(xué)解決方案供應商艾邁斯歐司朗和半導體行業(yè)沉積設備領(lǐng)先供應商愛(ài)思強（AIXTRON SE）近日聯(lián)合宣布，200mm晶圓AIXTRON G5+ C和G10-AsP系統已獲得艾邁斯歐司朗的認證，可用于滿(mǎn)足Micro LED應用需求。

愛(ài)思強的MOCVD系統AIX G5+ C和全新G10-AsP提供AIXTRON行星衛星式氣浮旋轉水平技術(shù)（Planetary Technology），為下一代高分辨率Micro LED顯示屏鋪平了道路。早在2022年第一季度，艾邁斯歐司朗宣布200mm產(chǎn)能增建計劃，在馬來(lái)西亞現有工廠(chǎng)實(shí)現LED和Micro LED產(chǎn)能。MOCVD系統有望助力實(shí)現Micro LED的批量生產(chǎn)，打造出新一代顯示應用。

艾邁斯歐司朗執行副總裁兼光電半導體業(yè)務(wù)負責人Robert Feurle表示：“愛(ài)思強和艾邁斯歐司朗保持著(zhù)長(cháng)期的合作關(guān)系，我們熟悉其設備的性能和質(zhì)量標準。對于任務(wù)艱巨的項目，例如開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)適用于A(yíng)sP和GaN器件的Micro LED，愛(ài)思強正是我們需要的合作伙伴?！睈?ài)思強首席執行官兼總裁Felix Grawert博士補充道：“G10-AsP和AIX G5+ C已成功獲得艾邁斯歐司朗的認證，這是我們公司歷史上一個(gè)非常重要的里程碑。艾邁斯歐司朗是全球領(lǐng)先的LED制造商，完全有能力將全新的基礎性技術(shù)推向市場(chǎng)。我們正面臨著(zhù)從傳統顯示技術(shù)向新型Micro LED顯示技術(shù)的重大轉變。如今，愛(ài)思強正在邁入一個(gè)潛力巨大的未來(lái)增長(cháng)市場(chǎng)，而且我們還有一位理想的合作伙伴與我們攜手共進(jìn)?！盡icro LED具備非常顯著(zhù)的優(yōu)勢，例如更高的像素密度、更長(cháng)的使用壽命、更高的亮度、更快的開(kāi)關(guān)速度和更寬的色譜，進(jìn)一步提升顯示技術(shù)。相對能耗低也是一項重要優(yōu)勢，使得Micro LED技術(shù)非常適合用于下一代配備較小顯示器的消費電子設備，通常這些設備為電池提供的空間非常有限。Micro LED有著(zhù)特殊的生產(chǎn)要求：在其量產(chǎn)過(guò)程中包含一個(gè)特殊的批量轉移工藝步驟，數千個(gè)微米尺寸的LED芯片（陣列）被拾放。任何缺陷都可能導致像素壞死，使整個(gè)陣列變得無(wú)用。因此，必須使用幾乎無(wú)誤差的外延工藝，使缺陷最小化，支持高成品率和符合經(jīng)濟效益的Micro LED生產(chǎn)。愛(ài)思強的新型G10-AsP外延工具經(jīng)過(guò)精心設計，旨在滿(mǎn)足這項應用的特殊需求。這項全新工具是世界首款全自動(dòng)AsP反應器，提供全自動(dòng)“檢測盒到檢測盒”（cassette-to-cassette）晶圓裝載以及基于原位蝕刻的清潔機制。這兩個(gè)特性結合在一起會(huì )對成品率產(chǎn)生顯著(zhù)影響。此外，間歇式反應器技術(shù)還為愛(ài)思強系統帶來(lái)了多項優(yōu)勢：其每片晶圓的生產(chǎn)成本在當前市場(chǎng)上屬于最低級別，而單位潔凈室面積吞吐量為最高級別。同時(shí)，該新工具擁有精確的流量和溫度控制功能，能在連續運行時(shí)保持非常好的材料均勻性。