MEMS傳感器在電子煙中的應用

電子煙不含焦油及懸浮顆粒等有害成分，隨著(zhù)人們健康意識的提升，抽電子煙正成為一種趨勢。并且，電子煙的煙油可以加入不同成分的調味劑進(jìn)行調味，用戶(hù)可以根據自己的喜好選擇煙油的口味。

電子煙及MEMS

電子煙不含焦油及懸浮顆粒等有害成分，隨著(zhù)人們健康意識的提升，抽電子煙正成為一種趨勢。并且，電子煙的煙油可以加入不同成分的調味劑進(jìn)行調味，用戶(hù)可以根據自己的喜好選擇煙油的口味。

MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）一般指微機電系統，是在微米級尺寸上進(jìn)行精密微加工，制作形成各種類(lèi)型的微傳感器及微執行器。壓力傳感器是MEMS傳感器中最早出現及應用的傳感器之一，從檢測原理上主要分為壓阻型及電容型，兩者是用硅材料通過(guò)圖形轉移及刻蝕方法，制作成微米級的壓力敏感膜片。

電子煙咪頭

目前市場(chǎng)上電子煙產(chǎn)品，主要使用咪頭作為壓力開(kāi)關(guān)。咪頭成本低廉，但也存在一些使用中的痛點(diǎn)需要解決。

一致性：

●   多零件組裝，存在裝配公差，不能保證觸發(fā)壓力的一致性

防油性：

●   煙油或水汽進(jìn)入電容膜片間隙，造成性能降低，嚴重情況甚至失效

SMT兼容性：

●   需要手工焊接，而且對焊接工要求挺高，這是影響產(chǎn)能的一個(gè)原因

基于單顆器件的解決方案

●   單顆差壓傳感器實(shí)現吸力檢測

●   器件膜片一側接觸氣流通道，另一側接觸大氣壓力，防水防油

●   多種輸出接口：中斷，頻率，I2C

相對傳統咪頭的優(yōu)勢

●   低成本：?jiǎn)涡酒顗簷z測，整機設計更加緊湊

●   防油性：采用背面進(jìn)氣方式，防水防油

●   一致性：MEMS微米級加工工藝，器件差異性小，并且出廠(chǎng)前校準測試，保證觸發(fā)壓力一致

敏芯股份認為，MEMS壓力傳感器是電子煙中可實(shí)現抽吸開(kāi)關(guān)的最優(yōu)解決方案之一。為此通過(guò)反復改良優(yōu)化，擁有卓越可靠性與穩定性的敏芯MEMS壓力傳感器，已獲得眾多客戶(hù)的認可與信賴(lài)并持續供貨放量。此外，利用MEMS平臺型企業(yè)的技術(shù)疊加優(yōu)勢，敏芯股份率先開(kāi)發(fā)了包括流量計和流量開(kāi)關(guān)在內的芯片，實(shí)現對電子煙高中低品牌市場(chǎng)的覆蓋。