國內18條主流MEMS產(chǎn)線(xiàn)統計

MEMS在整個(gè)物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)中處于核心位置，MEMS產(chǎn)線(xiàn)又是整個(gè)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展的基礎。在“一種器件、一種工藝”的特性下，MEMS產(chǎn)線(xiàn)的成熟度，將決定未來(lái)國內MEMS產(chǎn)業(yè)的競爭力。本文統計了目前公開(kāi)信息可查的國內18條主要的MEMS產(chǎn)線(xiàn)，涵蓋晶圓代工廠(chǎng)和IDM產(chǎn)線(xiàn)，工藝也基本涵蓋了目前MEMS的主流器件，包括MEMS壓力、麥克風(fēng)、加速度計、陀螺儀、磁傳感、紅外、光器件、射頻器件等。

賽微電子(300456)

|代工|

2016年收購全球MEMS代工廠(chǎng)中排名第二的瑞典Silex，提供壓力、慣性、紅外、微鏡、光開(kāi)關(guān)、硅麥克風(fēng)等多種MEMS工藝開(kāi)發(fā)及晶圓制造服務(wù)。與大基金共同投資建設的“8英寸MEMS 國際代工線(xiàn)建設項目”工程基本完成，月產(chǎn)能3萬(wàn)片，預計2020年三季度投產(chǎn)。

中芯國際(688981)

|代工|

中芯國際的MEMS方案主要集中在MEMS麥克風(fēng)、加速度計、陀螺儀、壓力、顯微鏡、超聲波傳感器、射頻器件。中芯國際紹興8英寸MEMS生產(chǎn)線(xiàn)已經(jīng)建設完成并開(kāi)始試生產(chǎn)（年出貨51萬(wàn)片）。

華潤微(688396)

|IDM&代工|

無(wú)錫3條6英寸線(xiàn)，涵蓋Analog 、 BCD 、 MEMS 、 DMOS 、Power Discrete 等制造工藝，MEMS產(chǎn)線(xiàn)是國內規模最大的與CMOS生產(chǎn)線(xiàn)兼容的MEMS傳感器量產(chǎn)生產(chǎn)線(xiàn)，并已自主研發(fā)多套具有國內領(lǐng)先水平的 MEMS 表面和體硅加工技術(shù)，用于制造壓力、硅麥克風(fēng)、光電、溫濕度等MEMS傳感器。

華虹半導體(01347.HK)

|代工|

華虹宏力在8英寸CMOS-MEMS制造平臺上，成功實(shí)現了MEMS器件與標準CMOS工藝及生產(chǎn)線(xiàn)的全兼容，已流片的產(chǎn)品包括磁力計、加速度計、壓力傳感器等。

上海先進(jìn)半導體

|代工|

上海漕河涇有5英寸、6英寸、8英寸和MEMS獨立生產(chǎn)線(xiàn)各一條，超過(guò)10年的MEMS加工經(jīng)驗，具備外延、深槽刻蝕和雙面光刻工藝能力，可以滿(mǎn)足3軸陀螺儀、流量傳感器、壓力傳感器及光學(xué)MEMS等代工要求。

睿創(chuàng )微納(688002)

|IDM|

睿創(chuàng )微納采用與晶圓代工廠(chǎng)共建產(chǎn)線(xiàn)的模式，8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線(xiàn)已投入量產(chǎn)（非制冷紅外熱成像探測器芯片），產(chǎn)能達到每月1500片晶圓，可年產(chǎn)各類(lèi)芯片360萬(wàn)顆。2020年7月24日，與煙臺開(kāi)發(fā)區簽署協(xié)議，建設一條8英寸MEMS工藝線(xiàn)和一條化合物半導體工藝線(xiàn)，滿(mǎn)足研發(fā)和中試要求。

河北美泰

|IDM|

中國電子科技集團第十三研究所全資子公司，擁有6英寸MEMS生產(chǎn)線(xiàn)，月產(chǎn)能達到1萬(wàn)片，主要產(chǎn)品有慣性、測試測量傳感器、壓力、汽車(chē)傳感器、RF器件、光MEMS器件等。

罕王微電子

|IDM&代工|

2016年收購美信旗下MEMS傳感器業(yè)務(wù)，2018年8英寸純MEMS規?；a(chǎn)線(xiàn)建成投產(chǎn)，年產(chǎn)能36萬(wàn)片、30億只MEMS芯片，可生產(chǎn)MEMS壓力及應力、加速度、陀螺儀、流量、溫度、濕度及氣體等傳感器。

廈門(mén)的西人馬

|IDM|

已經(jīng)在泉州建設了8英寸向下兼容6英寸的傳感器和MEMS芯片產(chǎn)品線(xiàn)，產(chǎn)品包括高精度硅壓力傳感芯片、中溫和高溫壓力芯片、陀螺儀芯片等。

諾思微系統

|IDM|

已投產(chǎn)一條6英寸的MEMS晶圓生產(chǎn)線(xiàn)和一條4英寸的工藝研發(fā)線(xiàn)，采用硅襯底的微機電系統(MEMS)制造技術(shù)的FBAR射頻濾波器，月生產(chǎn)能力達到3000萬(wàn)只芯片。

芯動(dòng)科技

|代工|

芯動(dòng)科技6英寸MEMS生產(chǎn)線(xiàn)已經(jīng)投產(chǎn)，工藝能力涵蓋MEMS芯片生產(chǎn)全過(guò)程，可生產(chǎn)壓力、加速度計、陀螺儀，光鏡和生物醫學(xué)等MEMS傳感器芯片產(chǎn)品，生產(chǎn)能力可達年產(chǎn)400萬(wàn)顆芯片，已經(jīng)開(kāi)始為客戶(hù)小批量試產(chǎn)供貨。

多維科技

|IDM&代工|

建設有完整的第四代磁傳感技術(shù)——隧道磁電阻（TMR）的磁性感應芯片產(chǎn)線(xiàn)，年產(chǎn)10億個(gè)TMR磁傳感器，以晶圓、裸片或封裝器件的形式提供TMR磁傳感器，為T(mén)MR/GMR/AMR磁傳感器提供晶圓代工服務(wù)。

武漢衍熙微器件

|IDM|

全國第一條8英寸體聲波（BAW）量產(chǎn)線(xiàn)，具有先進(jìn)的光刻、薄膜、蝕刻以及封裝設備，并建立創(chuàng )新自主開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品生產(chǎn)流程。

湖南啟泰信息

|IDM|

國內首條非半導體基底材料的MEMS壓敏傳感芯片生產(chǎn)線(xiàn)（金屬基薄膜力敏芯片），于2019年8月實(shí)現批量生產(chǎn)，年產(chǎn)壓敏傳感芯片50萬(wàn)顆，第一期達產(chǎn)后可年產(chǎn)芯片600萬(wàn)顆。

科研院所

|中試線(xiàn)|

蘇州納米城6英寸MEMS中試線(xiàn)、中科院微電子所8英寸MEMS中試線(xiàn)、淄博高新區6英寸MEMS中試線(xiàn)、上海微技術(shù)工研院8英寸MEMS中試線(xiàn)。