蘇州工業(yè)園MEMS中試量產(chǎn)平臺運行良好

日前，蘇州工業(yè)園區納米產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院有限公司傳出消息，其公司負責的MEMS中試量產(chǎn)平臺（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“平臺”）目前運行良好，已服務(wù)客戶(hù)60余家、產(chǎn)品180余顆，2019年預計出貨超過(guò)20000片6寸片，年出貨量在全國代工線(xiàn)中名列前茅。

MEMS制造環(huán)節門(mén)檻高、技術(shù)含量高，是制約中國MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展的瓶頸，也是從實(shí)驗室到可銷(xiāo)售產(chǎn)品的最核心的支撐環(huán)節。為構建“研發(fā)——中試——規模生產(chǎn)”完整的MEMS產(chǎn)業(yè)鏈鏈，加快MEMS企業(yè)創(chuàng )新和規?；砷L(cháng)過(guò)程，2013年，蘇州納米科技發(fā)展有限公司（蘇州工業(yè)園區國資辦下屬?lài)Y公司，以下簡(jiǎn)稱(chēng)納米公司）代表蘇州工業(yè)園區管委會(huì )，策劃籌建了蘇州工業(yè)園區納米產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院有限公司MEMS中試量產(chǎn)平臺（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“平臺”）。

平臺得到了工信部等各級政府支持，以支撐蘇州工業(yè)園區及中國MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展為主要使命，完全按照代工模式建立，服務(wù)于各類(lèi)企業(yè)、科研院所、研發(fā)機構、創(chuàng )業(yè)團隊，提供研發(fā)支持、代工服務(wù)，全開(kāi)放、市場(chǎng)化運營(yíng)，從根本上解決MEMS設計企業(yè)產(chǎn)品化的難題。

平臺2014年首顆產(chǎn)品通線(xiàn)，2017年真正實(shí)現量產(chǎn)，經(jīng)過(guò)多年的努力，形成了一支完整的高水平技術(shù)團隊，積累了國內種類(lèi)最多的MEMS產(chǎn)品量產(chǎn)經(jīng)驗，申請了60多項發(fā)明專(zhuān)利，已成為國內工藝種類(lèi)最全、部分工藝能力最強的MEMS代工線(xiàn)。另外，平臺已與日本愛(ài)發(fā)科簽署戰略合作協(xié)議，共同開(kāi)發(fā)下一代MEMS關(guān)鍵技術(shù)——PZT壓電薄膜MEMS傳感器，明年年初將成為國內首個(gè)可量產(chǎn)PZT MEMS器件的產(chǎn)線(xiàn)，為國內企業(yè)搶抓下一代MEMS產(chǎn)品先機提供了堅實(shí)的基礎。在此基礎上，平臺正計劃建設8英寸線(xiàn)，更好地支撐國內MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展。