完善產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)布局，建設上海全球科創(chuàng )中心功能型平臺

　　2017年12月1日，致力于“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)發(fā)展的創(chuàng )新平臺上海微技術(shù)工業(yè)研究院(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“工研院”)運營(yíng)的8英寸“超越摩爾” 研發(fā)中試線(xiàn)首款傳感器產(chǎn)品近日獲得驗證通過(guò)，正式宣告研發(fā)中試線(xiàn)通線(xiàn)成功。

　　當前以智能傳感終端、大數據、云計算、人工智能等為代表的信息技術(shù)正加速創(chuàng )新，萬(wàn)物互聯(lián)智能化時(shí)代正在到來(lái)。其中“超越摩爾”技術(shù)以傳感器為核心，結合射頻、功率、微能源等技術(shù)，是未來(lái)實(shí)現萬(wàn)物互聯(lián)的基礎。作為創(chuàng )新型功能平臺，工研院立足國內集成電路研發(fā)和產(chǎn)業(yè)基地上海，8英寸研發(fā)中試線(xiàn)落戶(hù)嘉定，填補國內這一領(lǐng)域的空白。

　　研發(fā)中試線(xiàn)著(zhù)重開(kāi)展表面硅、體硅、3D微納加工工藝的開(kāi)發(fā)，并根據“超越摩爾”產(chǎn)品和技術(shù)特點(diǎn)部署MEMS、硅光子、射頻、硅基III-V族、3D集成、MR磁、功率及生物等相關(guān)工藝和量測設備，提供全方位的產(chǎn)品研發(fā)、小批量生產(chǎn)、技術(shù)培訓、設備驗證等服務(wù)。

　　“這次的通線(xiàn)成功標志著(zhù)中國在MEMS及先進(jìn)傳感器的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化進(jìn)入一個(gè)全新的快速發(fā)展的階段。未來(lái)研發(fā)中試線(xiàn)將持續發(fā)力，在新材料、新工藝、新器件、新系統重點(diǎn)技術(shù)領(lǐng)域開(kāi)展研發(fā)，進(jìn)一步推動(dòng)“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)鏈的完善和物聯(lián)網(wǎng)創(chuàng )新應用發(fā)展。” 上海微技術(shù)工研院總裁楊瀟表示。

　　以全球領(lǐng)先的8英寸“超越摩爾”研發(fā)中試線(xiàn)為支點(diǎn)，工研院將持續打造集研發(fā)、工程、市場(chǎng)、孵化的一體化功能平臺，為創(chuàng )新企業(yè)及合作伙伴提供全方位的服務(wù)和解決方案，建設具有全球影響力的科技創(chuàng )新中心及“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)群。

　　圖：上海微技術(shù)工研院8英寸 “超越摩爾” 研發(fā)中試線(xiàn)