彌補國內傳感器產(chǎn)業(yè)生態(tài)鏈缺口

　　在上海嘉定工業(yè)區，近5000平方米的高等級微納加工超凈廠(chǎng)房?jì)?，上海微技術(shù)工業(yè)研究院(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“工研院”)與國際領(lǐng)先的晶圓廠(chǎng)密切合作構建的8英寸“超越摩爾”研發(fā)中試線(xiàn)上，正“跑”著(zhù)數十片晶圓。

　　8英寸研發(fā)中試線(xiàn)的啟動(dòng)，不僅實(shí)現了從研發(fā)到量產(chǎn)的無(wú)縫銜接，更豐富完整了國內的“超越摩爾”生態(tài)鏈，是對標國際產(chǎn)業(yè)競爭的關(guān)鍵一環(huán)。

　　中國科協(xié)副主席、中國科學(xué)院院士王曦解釋說(shuō)，“超越摩爾”指的是不再只遵循摩爾定律，在半導體工藝尺寸上越做越小，而是在成熟的工藝生產(chǎn)線(xiàn)上，研發(fā)非數字、多元化半導體技術(shù)與產(chǎn)品?！俺侥枴睂⒉辉倬窒抻谝揽砍叽绺淖內ネ七M(jìn)集成電路制程節點(diǎn)，更重視材料、工藝、結構等多維度的創(chuàng )新，從而實(shí)現傳感器等其他新興技術(shù)領(lǐng)域“換道超車(chē)”。

　　傳感器，位于整個(gè)物聯(lián)網(wǎng)的基礎層，是數據采集的入口，也是物聯(lián)網(wǎng)的基石。然而代工廠(chǎng)不愿接，小批量中試無(wú)處可做，成為我國傳感器等微機電系統研發(fā)機構的一大共性難題。8英寸研發(fā)中試線(xiàn)運營(yíng)副總裁、廠(chǎng)長(cháng)游家杰表示，當前我國約60%的傳感器都是靠進(jìn)口，缺口很大，尤其是微機電系統智能傳感器，幾乎全部依賴(lài)進(jìn)口。

　　目前，在“超越摩爾”領(lǐng)域，相比于業(yè)界普遍使用的6英寸產(chǎn)線(xiàn)，貫通從研發(fā)到量產(chǎn)全程服務(wù)的上海微技術(shù)工業(yè)研究院8英寸線(xiàn)是公認的領(lǐng)先技術(shù)。據相關(guān)人士透露，整個(gè)生產(chǎn)線(xiàn)建造投入近10億元，目前一期3000平方米已投入使用。

　　據悉，8英寸研發(fā)中試線(xiàn)將專(zhuān)注于“超越摩爾”傳感器產(chǎn)品技術(shù)的開(kāi)發(fā)，可以全面開(kāi)展表面、體、3D微納加工以及新工藝、新器件、新系統的研發(fā)，并根據“超越摩爾”產(chǎn)品和技術(shù)特點(diǎn)部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁傳感、功率及生物等相關(guān)工藝和量測設備。作為國內第一條先進(jìn)8英寸研發(fā)中試線(xiàn)，不僅可承擔產(chǎn)品研發(fā)、小批量生產(chǎn)、技術(shù)培訓、設備驗證等服務(wù)，有助于提升研發(fā)的成功率，更將助力實(shí)現 “超越摩爾”產(chǎn)品和技術(shù)從研發(fā)到量產(chǎn)的無(wú)縫銜接。

　　游家杰介紹，新建成的研發(fā)中試線(xiàn)，目前規定產(chǎn)能是每月生產(chǎn)3000片左右晶圓，后期將達到5000片?！拔覀兛梢灾斡脩?hù)從幾百片到上千片的產(chǎn)能需求，小規模訂單先在中試線(xiàn)上孵化，一旦前期市場(chǎng)測試成功，就可以把大批量訂單轉移給大型代工廠(chǎng)，開(kāi)始規模量產(chǎn)?！?/p>