揭開(kāi)微米級LED芯片精密檢測的秘密
但熱像儀檢測微米級別的LED金線(xiàn)和正負電極也是有一定難度的,常用配置的紅外熱像儀最小只能檢測到0.2mm的目標,所以需要有特殊的配件進(jìn)行檢測。
本文引用地址:http://dyxdggzs.com/article/201702/338420.htm一、紅外熱像儀使用標準鏡頭和廣角鏡頭檢測的效果
目標為3mmLED芯片,下面的熱像圖均為同一型號熱像儀(Ti50)加裝不同鏡頭拍攝:

標準鏡頭在150mm處拍攝(150mm為T(mén)i50熱像儀的最小聚焦距離)

換裝廣角鏡頭在10mm處拍攝
注:
1、最小聚焦距離:最小聚焦距離是紅外鏡頭的重要參數,一般來(lái)說(shuō),距離越近,在相同條件下拍攝的清晰度就越好;但大部分的鏡頭時(shí)無(wú)法貼近檢測的,與目標能離得多近就是最小聚焦距離。
2、目前大部分熱像儀有紅外和可見(jiàn)光雙重拍攝模式,但因LED芯片尺寸小,熱像儀需要在最近的極限距離處拍攝,已遠低于可見(jiàn)光最小聚焦距離,故可見(jiàn)光一般無(wú)法在熱圖中顯示,或可見(jiàn)光與紅外熱圖位置差異較大。
從熱像圖的效果來(lái)看,標準鏡頭和廣角鏡頭均只能看到LED芯片表面的大致溫度分布,而完全無(wú)法清楚地看到金線(xiàn)和正負電極等細節部分的溫度分布,所以這兩種配置并不能符合測試的要求。
二、使用微距鏡頭對LED芯片進(jìn)行檢測

熱像儀換裝13.5μm微距鏡頭在20mm處拍攝3mm 藍光LED芯片現場(chǎng)圖

LED芯片紅外熱圖,可以見(jiàn)到寬度為10μm金線(xiàn)和正負電極
利用軟件,在熱像圖的芯片范圍設置一條直線(xiàn)(下圖左),在下圖右中可以看到這條線(xiàn)按照位置變化的溫度變化曲線(xiàn)(橫軸為像素坐標軸,縱軸為溫度軸),在線(xiàn)上攻擊250個(gè)像素,芯片尺寸為3mm,則在芯片上每個(gè)像素的尺寸為3mm/250=12μm,也就是說(shuō),熱像儀可以分辨出直徑為12微米的部件的細微溫差。
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