微米級電子芯片檢測這都不是事兒――福祿克Tix660紅外熱像儀可對微米級別的目標進(jìn)行檢測
微米級小芯片的檢測一直是研發(fā)領(lǐng)域檢測的難點(diǎn),常見(jiàn)的熱像儀可有效檢測的最小目標通常為0.2mm以上,對于微米級別的芯片晶格和元器件來(lái)說(shuō),需要在像素和光學(xué)系統上均達到一定性能要求才可以準確檢測。
福祿克高端紅外熱像儀配套專(zhuān)用的微距鏡頭,可對最小32微米的目標進(jìn)行有效檢測。
芯片的晶格
TiX660加裝微距鏡頭3拍攝的芯片晶格
應用案例:
某研究所需要檢測芯片晶格的溫度分布情況。從現場(chǎng)的檢測情況來(lái)看,兩排晶格器件,上排器件的溫度為34.1℃,而下排器件的溫度為34.2℃,說(shuō)明在散熱方面,各方位排列的器件的散熱情況是不相同的,研究人員可以據此測試不同的排列對器件的影響,并對某些問(wèn)題器件進(jìn)行單獨檢測。
檢測要求:
檢測的目標小于0.2mm,現場(chǎng)有紅外窗口遮擋,故無(wú)法近距離檢測,需要在10厘米處才可以安放熱像儀
解決方案:
大師系列熱像儀 + 微距鏡頭3 + 長(cháng)焦鏡頭 + 三腳架 + 二維可調精密位移云臺
微距鏡頭3+長(cháng)焦鏡頭的配置正好可以滿(mǎn)足檢測小目標和較遠的對焦距離的雙重需求,為使現場(chǎng)檢測對焦方便,使用三腳架+二維可調精密位移云臺

行業(yè)應用:
需要檢測的目標小于0.2mm的微電子或電子器件的研究部門(mén),特別是在0.1mm以?xún)鹊?a class="contentlabel" href="http://dyxdggzs.com/news/listbylabel/label/微米級">微米級電子器件,如芯片、集成電路、電子元器件等。
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