堺工廠(chǎng)展示LTPS面板 第十代液晶廠(chǎng)有啥威力？

　　堺顯示器產(chǎn)品公司(SDP)在使用全球最大尺寸(2880mm×3130mm)玻璃基板的該公司第10代液晶工廠(chǎng)，成功試制了低溫多晶硅(LTPS)TFT液晶面板。該公司在日前舉行的顯示器學(xué)會(huì )“SID 2016”的開(kāi)發(fā)人員見(jiàn)面會(huì )上首次公開(kāi)了試制品。據介紹，這是在堺工廠(chǎng)制作的第一款低溫多晶硅TFT液晶面板，屏幕尺寸為19.5英寸，像素數為4K(3840×2160)，精細度為226ppi。

　　SDP計劃2017年初開(kāi)始制造采用該技術(shù)的柵極驅動(dòng)電路一體型8K高精細(326ppi)液晶面板。此次發(fā)布的LTPS技術(shù)設想在堺的第10代工廠(chǎng)導入，用于量產(chǎn)8K等大型高精細液晶電視和大型有機EL電視使用的面板。據介紹，從現有的非晶硅TFT工廠(chǎng)進(jìn)行轉換所需的追加投資成本較少，還有望實(shí)現高生產(chǎn)效率。追加投資成本只有向采用以往技術(shù)的LTPS TFT生產(chǎn)線(xiàn)轉換時(shí)的1/9，向IGZO TFT生產(chǎn)線(xiàn)轉換時(shí)的1/2。

　　那么，為何采用LTPS呢?原因是，與現在的大型面板使用的非晶硅TFT相比，LTPS TFT的載流子遷移率高，容易驅動(dòng)8K等高精細液晶面板和元件通電的有機EL面板。不過(guò)，LTPS此前只被用于利用第6代以下基板制造的中小型面板。原因在于制造裝置。LTPS是通過(guò)向大型液晶面板使用的非晶硅膜照射激光進(jìn)行退火，使熔化的硅重新結晶制作而成的。但以往的激光退火技術(shù)沒(méi)有支持第10代大型玻璃基板的裝置，最多只能支持第6代基板。

　　因此，SDP導入了能支持第10代大型玻璃基板的全新激光退火技術(shù)，也就是能夠精密地局部照射激光的局部激光退火技術(shù)。該公司把利用該技術(shù)制作的多晶硅稱(chēng)為“PLAS(Partial Laser Anneal Silicon)”?，F在的LTPS工廠(chǎng)都是采用通過(guò)光束線(xiàn)對整面基板進(jìn)行退火的準分子激光退火技術(shù)。

　　局部激光退火技術(shù)的特點(diǎn)是，無(wú)需像以往技術(shù)那樣向整面基板照射激光，因此激光退火工序的處理時(shí)間可以縮短一位數。另外，以往的LTPS采用頂柵結構，而采用局部激光退火技術(shù)的LTPS可以直接使用非晶硅TFT的底柵結構。而且無(wú)需導入像IGZO那樣的新材料。因此，堺第10代工廠(chǎng)等非晶硅TFT生產(chǎn)線(xiàn)實(shí)現“LTPS化”時(shí)，優(yōu)點(diǎn)是追加的成膜工序、光刻工序以及相應的制造裝置比較少。

　　利用局部激光退火技術(shù)制作的LTPS TFT的載流子遷移率遠遠高于非晶硅，與IGZO為同等水平。利用第2.5代試產(chǎn)線(xiàn)制作的TFT的載流子遷移率為28.1cm2。