激光微加工系統及基于DSP+FPGA的控制單元的研究
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在經(jīng)過(guò)對上面兩個(gè)誤差的修正后，選用硅（100）進(jìn)行了部分微加工的實(shí)驗。通過(guò)光學(xué)顯微鏡對結果進(jìn)行觀(guān)測可知，系統實(shí)現了較好的微加工效果。在空氣環(huán)境下，采用20 kHz的激光頻率，獲得激光輸出能量為150 μJ，在2 mm/s的運動(dòng)速度下加工出微六邊形，如圖6所示。本文引用地址：http://dyxdggzs.com/article/191783.htm
為了滿(mǎn)足微加工的需要，設計了納秒脈沖激光微加工系統，尤其是實(shí)現了具有圖形解析和高速數據處理功能的控制單元，解決了現有設備的關(guān)鍵問(wèn)題，使加工系統在操作性和精度上都有很大提升，為下一步工作的展開(kāi)奠定了良好的基礎。
參考文獻
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