MEMS市場(chǎng)展示美好

　　MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)微電子機械系統，出現于19世紀，從上世紀60年代起經(jīng)過(guò)美國科技人員的不斷開(kāi)發(fā)改進(jìn)，并于1989年首先提出了“微電子技術(shù)應用于電機系統”的概念。由此，MEMS成為微機械等領(lǐng)域的學(xué)術(shù)用語(yǔ)，MEMS技術(shù)也成為熱門(mén)研究課題。MEMS隨著(zhù)半導體集成電路微細加工技術(shù)和超精密機械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展，MEMS是感知、計算和執行的融合，它把電子技術(shù)與機械特性有機地結合了起來(lái)，可同時(shí)實(shí)現物理、化學(xué)、生物等方面的功能，現已滲透到電子、機械、物理、化學(xué)、醫學(xué)、生物等各個(gè)領(lǐng)域，變成世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一，并具有廣闊的前景。MEMS傳感器是采用微電子和微機械加工技術(shù)制造的傳感器，與傳統傳感器相比，具有體積小、重量輕、成本低、功耗少、可靠性高、適于批量生產(chǎn)、易于集成和實(shí)現智能化等特點(diǎn)。

　　傳感器已屬于WSTS的統計項目之一，2012年銷(xiāo)售值80億美元，占整個(gè)半導體市場(chǎng)的2.7%，2013年增長(cháng)4.5%，達84億美元，占2.8%，明年進(jìn)一步上揚7.1%，達90億美元，占2.9%，2015年續增5.5%，達95億美元，占2.9%，保持著(zhù)年年成長(cháng)的趨勢。另外，Fairchild Semiconductor公司MEMS與傳感器解決方案副總裁Janusz Bryzek從出貨量方面進(jìn)行了預測，他說(shuō)未來(lái)世界MEMS傳感器的應用有可能達到萬(wàn)億片的規模，展望2023年， MEMS芯片出貨量估計可達1630億片，半導體芯片則為1.95萬(wàn)億片，MEMS芯片出貨量占半導體量的比重將從2010年的3%提高到2023年的8%。圖1還告訴我們，從今往后兩者出貨量的發(fā)展速度會(huì )愈來(lái)愈快，MEMS的增速將從每年13%，提高到38%，半導體則將從9%提升到27%，前者的成長(cháng)速度更勝于后者。

　　人機介面的歷史從鍵盤(pán)、鼠標，到目前流行的MEMS傳感器和控制器，觸控、手勢、語(yǔ)音、影像識別等正日漸普及，MEMS傳感器的應用不斷擴大。以日本為例，在半導體趨于式微的今天，半導體廠(chǎng)商轉而寄希望于傳感器，積極推進(jìn)MEMS傳感器事業(yè)。今年6月日本政府擬定的“日本再興戰略(Japan Is Back)”中便列有基礎設施檢查診斷項目。在橋梁、道路、大樓等基礎設施中設置各類(lèi)傳感器，以收集的有關(guān)數據為基礎，企望發(fā)揮檢查診斷的作用。這方面使用的傳感器市場(chǎng)規模將從今天的5000億日元增長(cháng)到2030年的10萬(wàn)億日元。衰落的家電王國日本今后傳感器的應用將向著(zhù)醫療和機器人邁進(jìn)，隨著(zhù)高齡化的進(jìn)展和抑制高昂的醫療費用，國家將推行家庭醫療政策，廣泛采用小型醫療器具，增加傳感和監視功能，利用可穿戴設備經(jīng)常監視老年人的血壓和心跳，防病于未然。

　　先前的日本福島第一核電廠(chǎng)事故中首先采用了機器人，此外，護理工作和生產(chǎn)自動(dòng)化都將積極采用智能機器人，基礎設施非破壞性檢查診斷也需用機器人，故而日本機器人市場(chǎng)將從今天的50億日元成長(cháng)到2030年的2萬(wàn)億日元。還有汽車(chē)業(yè)也是日本的得意行業(yè)，凡此，都是廣泛采用傳感器的領(lǐng)域，因而JEITA(日本電子信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì ))預測，日本2020年傳感器市場(chǎng)將達5.87萬(wàn)億日元(圖2)。