一種單軸MEMS陀螺儀信號處理電路設計
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根據控制理論，對于二階系統，其Q值在0．707時(shí)系統穩定并響應最快。因此，在其他條件已知的情況下，該環(huán)路最優(yōu)響應對應的濾波器電容為
2．2 開(kāi)環(huán)檢測帶寬分析
開(kāi)環(huán)檢測工作原理如圖3所示，當驅動(dòng)軸穩定工作在其諧振頻率后，φ=-π／2，通常ωdω，如果Qs足夠大，則φ≈0，通過(guò)低通濾波就可以得到跟輸入ωΩ相關(guān)的電壓。對于單質(zhì)量塊的MEMS陀螺儀，其頻率響應如圖4所示。本文引用地址：http://dyxdggzs.com/article/172299.htm
設輸入角速度信號頻率為ωΩ，則檢測軸的位移為
3 CV轉換模塊的設計
對于MEMS陀螺儀信號處理電路而言，CV轉換模塊的輸出是后續信號處理的基礎，所以CV轉換模塊對于MEMS陀螺儀信號處理電路的重要性不言而喻。
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