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EEPW首頁(yè) > 嵌入式系統 > 設計應用 > 一種單軸MEMS陀螺儀信號處理電路設計

一種單軸MEMS陀螺儀信號處理電路設計

作者： 時(shí)間：2011-12-23 來(lái)源：網(wǎng)絡(luò ) 收藏

設壓控振蕩器的輸出為Vppcosθ，靜電驅動(dòng)力為Fdcosθ，位移x=acos(θ+φ)，則
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采用平均方法對式(11)進(jìn)行化解，由于θ的變化速度要遠遠>φ和VLF的變化速度，根據平均方法，sin(2θ+2φ)、cos(2θ+2φ)、cos(2θ+φ)均為0，則式(11)可化解為
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對于式(12)和式(13)組成的一階微分方程組，可以通過(guò)勞斯判據判定其穩定性，其穩態(tài)下的Jacobian矩陣為
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