應用材料為8.5代平面顯示器制造商推出高產(chǎn)能生產(chǎn)系統

應用材料公司平面顯示事業(yè)部AKT近日宣布推出第一批在全球最大的8.5代（2.2米x~2.5米）玻璃基板上制造大尺寸LCD電視屏幕的平面顯示器生產(chǎn)系統。全新設計的AKT-55K EBT (電子束檢測)，AKT-55K PECVD(等離子加強化學(xué)氣相沉積)和AKT- NEW ARISTO™ 2200彩色濾光板濺射系統在8.5代基板上實(shí)現了制造6塊55英寸LCD電視屏的高效率生產(chǎn)。

新的8.5代基板將會(huì )對TFT*-LCD電視市場(chǎng)的增長(cháng)做出貢獻，市場(chǎng)研究機Display Search預測該市場(chǎng)將在2006年突破4000萬(wàn)臺。應用材料公司新業(yè)務(wù)新產(chǎn)品事業(yè)部和AKT事業(yè)部資深副總裁兼總經(jīng)理Mark Pinto表示“應用材料公司通過(guò)其AKT事業(yè)部向客戶(hù)提供個(gè)性化的產(chǎn)品、技術(shù)以及全球的服務(wù)支持，不斷幫助他們降低平面顯示器生產(chǎn)成本。通過(guò)起始的晶體管成型PECVD（等離子加強化學(xué)氣相沉積）技術(shù)、和隨后的電子束檢測技術(shù)、以及現在所從事的彩色濾光濺射薄膜技術(shù)的開(kāi)發(fā)，應用材料公司不斷提升其在平面顯示設備行業(yè)中的地位。結合我們在大面積處理工藝上的領(lǐng)先地位和納米制造技術(shù)上的優(yōu)勢，這些新產(chǎn)品讓我們站在了顯示設備行業(yè)的最前沿，并使我們能夠向客戶(hù)提供高產(chǎn)能、低成本、和高可靠性的新一代制造技術(shù)?！?

AKT-55K EBT（電子束檢測）系統具有業(yè)界最快最精確的像素檢測技術(shù)和最低的總體運行成本。該系統運用7個(gè)電子束提供快速精確的像素矩陣檢測。無(wú)接觸式的檢測技術(shù)確保在測試昂貴的LCD電視面板時(shí)不會(huì )損壞或劃傷表面。

AKT-55K PECVD （等離子加強化學(xué)氣相沉積）系統運用了已被驗證的多腔體平臺結構和技術(shù)，該技術(shù)使得AKT在過(guò)去13年中成為平面CVD（化學(xué)氣相沉積）設備的領(lǐng)導者。AKT-55K系統對于介電薄膜(SiNx, SiOx 和 SiON)及半導體薄膜(a-Si 和 摻雜了的 a-Si)作了優(yōu)化，這使得它每小時(shí)可以處理超過(guò)60片單層薄膜基底。

AKT-NEW ARISTO 2200是用于彩色濾光片制造的具有最高產(chǎn)能和靶材利用率的全自動(dòng)垂直濺射系統。它基于源自Applied Films領(lǐng)先的NEW ARISTO系統概念，采用創(chuàng )新的低缺陷高成品率平面陰極設計，提供了業(yè)界最高的生產(chǎn)能力。