巨磁(GMR)的原理和應用
前言
“科學(xué)技術(shù)是第一生產(chǎn)力”,科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,總是促進(jìn)人類(lèi)文明一次次飛速的進(jìn)步。人類(lèi)進(jìn)入20年代末的時(shí)候,一門(mén)新的學(xué)科――磁電子學(xué)又產(chǎn)生于科學(xué)技術(shù)的全面發(fā)展中。它吸取最新科技發(fā)展的精華,融合磁學(xué)與微電子學(xué)之所長(cháng),發(fā)展其所不及,給人類(lèi)技術(shù)文明發(fā)展又揭開(kāi)了一頁(yè)新的篇章。
一、巨磁電阻效應簡(jiǎn)介
磁電子學(xué)是一門(mén)以研究介觀(guān)尺度范圍內自旋極化電子的輸運特性以及基于它的這些獨特性質(zhì)而設計、開(kāi)發(fā)的在新的機理下工作的電子器件為主要內容的一門(mén)交叉學(xué)科。它研究的對象包括載流電子的自旋極化、自旋相關(guān)散射、自旋弛豫以及與此相關(guān)的性質(zhì)及其應用等。
電子既是電荷的負載體,同時(shí)又是自旋的負載體。以研究、控制和應用半導體中數目不等的電子和空穴(即多數載流子和少數載流子)的輸運特性為主要內容的微電子學(xué)是二十世紀人類(lèi)最偉大的創(chuàng )造之一。但在這里自旋狀態(tài)是不與考慮的,電子的輸運過(guò)程僅利用它的荷電性由電場(chǎng)來(lái)控制。是否可以利用電子的自旋來(lái)操縱它的輸運過(guò)程呢?這正是磁電子學(xué)所要研究的主要內容。
對巨磁電阻效應的研究就是磁電子學(xué)的一個(gè)重要內容。磁場(chǎng)作用于磁性多層膜中導電電子的自旋,導致膜電阻發(fā)生很大的變化。這種變化可以通過(guò)測量電阻或以電壓方式反映出來(lái)。根據這種特點(diǎn)可以在許多領(lǐng)域得到應用。
二、巨磁電阻效應的應用
科技服務(wù)于人類(lèi)??茖W(xué)技術(shù)只有同應用相結合才能發(fā)揮其“第一生產(chǎn)力”的作用并同時(shí)擁有強大的生命力。磁電子學(xué)的產(chǎn)生是巨大應用前景促進(jìn)的結果,同時(shí)從其產(chǎn)生之初即為應用服務(wù)。到目前磁電子學(xué)的研究仍在世界范圍轟轟烈烈地進(jìn)行,它的應用已發(fā)展到計算機磁頭、巨磁電阻傳感器、磁隨機存貯器等許多領(lǐng)域,隨著(zhù)對CMR、TMR原理的進(jìn)一步研究和認識,必將開(kāi)拓更為廣闊的應用前景。鑒于磁電子學(xué)技術(shù)的新穎性和復雜性,對于磁電子學(xué)的研究仍在持續不斷地進(jìn)行,其應用現在還僅限于巨磁電阻(GMR)范圍,以下對此作較為詳盡的介紹。其新的應用日新月異,還望大家拭目以待。
1.巨磁電阻(GMR)傳感器的應用
1)GMR磁場(chǎng)傳感器可用來(lái)導航及用于高速公路的車(chē)輛監控系統
地球是一個(gè)大磁鐵,地球表面的磁場(chǎng)大約為0.5Oe,地磁場(chǎng)平行地球表面并始終指向北方。利用GMR薄膜可做成用來(lái)探測地磁場(chǎng)的高級羅盤(pán)。當可以同時(shí)探測平面內磁場(chǎng)X和Y方向分量的GMR磁場(chǎng)傳感器固定在交通工具上,瞬間航向與地球北極的夾角可通過(guò)GMR傳感器的X和Y方向的電壓相對改變而確定下來(lái)。圖3顯示這種傳感器的具體工作原理。GMR磁場(chǎng)傳感器隨輪船的方向改變而改變其和地磁場(chǎng)的夾角,相對來(lái)說(shuō),也可以等效為地磁場(chǎng)的方向在改變。我們已研制出能夠探測磁場(chǎng)X和Y方向分量的集成GMR傳感器。此傳感器可作為羅盤(pán)并應用在各種交通工具上作為導航裝置。美國的NVE公司已經(jīng)把GMR傳感器用在車(chē)輛的交通控制系統。我們知道,各種不同的車(chē)輛(物體)在外界都有其自身特征的磁場(chǎng)分布。通過(guò)用GMR弱場(chǎng)傳感器可探測各種車(chē)輛的磁場(chǎng)分布進(jìn)而確定該車(chē)輛的型號。利用GMR傳感器不僅可探測靜止車(chē)輛的狀況進(jìn)而用在交通燈處的交通控制和停車(chē)場(chǎng)處停車(chē)位置的監控,而且也可探測移動(dòng)車(chē)輛的情況。具體來(lái)說(shuō),放置在高速公路邊的GMR傳感器可以計算和區別通過(guò)傳感器的車(chē)輛。如果同時(shí)分開(kāi)放置兩個(gè)GMR傳感器,還可以探測出通過(guò)車(chē)輛的速度和車(chē)輛的長(cháng)度,當然GMR也可用在公路的收費亭,從而實(shí)現收費的自動(dòng)控制。另外高靈敏度和低磁場(chǎng)的傳感器可以用在航空、航天及衛星通信技術(shù)上。大家知道,在軍事工業(yè)中隨著(zhù)吸波技術(shù)的發(fā)展,軍事物件可以通過(guò)覆蓋一層吸波材料而隱蔽,但是它們無(wú)論如何都會(huì )產(chǎn)生磁場(chǎng),因此通過(guò)GMR磁場(chǎng)傳感器可以把隱蔽的物體找出來(lái)。當然,GMR磁場(chǎng)傳感器可以應用在衛星上,用來(lái)探測地球表面上的物體和底下的礦藏分布。

2)GMR磁場(chǎng)傳感器可來(lái)探測DC、AC電流及用作隔離器和電子線(xiàn)路中的反饋系統(開(kāi)關(guān)電源)
眾所周知,通電導線(xiàn)周?chē)鷮a(chǎn)生磁場(chǎng),其磁場(chǎng)的強弱與通電電流的大小成正比。若將GMR磁場(chǎng)傳感器及環(huán)形軟磁集磁通器放置在通電導線(xiàn)附近,則由GMR傳感器的輸出電壓可以測量導線(xiàn)中通過(guò)的電流。我們已利用反鐵磁耦合的FeNi/FeCo/Cu的多層膜和集成的永磁薄膜作為偏場(chǎng),并研制出線(xiàn)性測量范圍正負200Oe的惠斯通電橋傳感器。利用這種傳感器可探測電流高達10,000安培的直流和交流。目前有三種辦法可用來(lái)探測電流:電阻短路的辦法,其缺點(diǎn)在于引入一電壓降和這種方法不能提供上下級的隔離。電流轉換器則基于安培定理,但是其僅僅用來(lái)探測直流。GMR磁場(chǎng)傳感器不僅可用來(lái)探測直流和交流而且還可保證上下級隔離。隨著(zhù)半導體集成技術(shù)的發(fā)展,目前已把GMR薄膜傳感器和集成線(xiàn)路板結合在一起,從而實(shí)現了小型化、集成化,提高了靈敏度和降低了成本。另外電流探測原理,目前已經(jīng)用作隔離器、開(kāi)關(guān)電源和無(wú)刷直流電機系統。隔離器主要是把高電壓及高電流情況下的初級信號通過(guò)電壓/頻率轉換并傳給下一級,在下一級再通過(guò)頻率/電壓轉換成為電壓或電流信號,因此上下級而不相互干擾。這種探測電流大小的隔離器已被葡萄牙的一家公司所采用。至于開(kāi)關(guān)電源,我們利用兩次沉積自旋閥多層膜的辦法,已研制出可探測微安級的交直流及探測磁場(chǎng)范圍在正負20Oe的GMR磁場(chǎng)傳感器。并且與西班牙的一所大學(xué)合作,成功地把這種傳感器用在開(kāi)關(guān)電源線(xiàn)路中作為反饋系統,可改善其頻率輸出特性高達1MHz。至于在無(wú)刷直流電機的應用:大家知道,有刷直流電機是用接觸碳刷或金屬片做整流子供電,使轉子旋轉。這種接觸式整流子因摩擦給電機帶來(lái)非常不好的影響,比如使用壽命短、噪音大、有火花、產(chǎn)生干擾電磁波等。如果用GMR傳感器代替電機的摩擦整流子,那么就可以避免因電刷摩擦而帶來(lái)的影響,而且還可以實(shí)現電機高速旋轉及其調速和穩速的目的。因此,它的穩定性和可靠性都非常高。另外,這種無(wú)刷電機轉矩-重量比較大,速度轉矩特性的線(xiàn)性度比較好。圖4.給出了測量電流的原理圖。

3)GMR傳感器可用來(lái)測量微小的位移及其相關(guān)的應用
GMR磁場(chǎng)傳感器來(lái)探測被測物體的位移的原理是通過(guò)利用一永磁鐵作為參照物,參照物相對于磁傳感器的運動(dòng)可等效為磁敏器件在均勻梯度的磁場(chǎng)中的移動(dòng),因此磁場(chǎng)傳感器的輸出則反映著(zhù)磁場(chǎng)傳感器或永磁鐵的位移量。圖5給出一圓柱磁鋼及其周?chē)拇艌?chǎng)分布。我們已研制出一種能同時(shí)探測X―Y方向位移的磁場(chǎng)傳感器。由于采用集成技術(shù),可使該磁場(chǎng)傳感器小型化,同時(shí)提高了精度。這種傳感器已成功運用在機器人及機械手的控制系統,并使其智能化和拿取、放置物體。另外也使機器人具有識別物體的功能。這種位移傳感器也可用在電梯及相應的升降系統作為控制系統。此外,可以用GMR位移傳感器改造某些傳統的工業(yè)儀表,擴大其應用范圍。例如,浮子流量計是一種得到廣泛應用的非電量?jì)x表,如果改用磁性浮子和外配一個(gè)GMR磁位移傳感器,就能制成一個(gè)有電壓輸出的數字型位移傳感器。在汽車(chē)發(fā)動(dòng)機中,為了實(shí)現電子點(diǎn)火,往往需要精密堅固的位移傳感器來(lái)測量發(fā)動(dòng)機主軸的準確轉角,決定點(diǎn)火時(shí)間。以前多用霍爾元件,現在完全可以用GMR替代,從而提高工作溫度范圍和降低磁場(chǎng)觸發(fā)磁場(chǎng)的強度。GMR位移傳感器也可用在精密機床上來(lái)提高機械加工的精度?;钊跉飧字械倪\動(dòng)情況也可以通過(guò)GMR位移傳感器給探測出來(lái)。

4)GMR角度位移及角速度傳感器和相關(guān)應用
為了測量一物體的轉動(dòng)角度的大小,往往可以通過(guò)探測磁鋼因轉動(dòng)而造成其磁場(chǎng)的方向相對于固定的GMR磁場(chǎng)傳感器的改變,我們研制出的可探測平面內磁場(chǎng)方向和大小的GMR磁場(chǎng)傳感器可以探測相對其轉動(dòng)的磁鋼的轉動(dòng)角度。當一塊磁鐵固定在轉動(dòng)輪子的邊沿而GMR磁場(chǎng)傳感器固定在輪子的旁邊并保持一定的距離時(shí),參考磁鐵隨輪子而轉動(dòng),每當輪子轉動(dòng)一圈,就會(huì )使產(chǎn)生一電壓脈沖輸出。圖6給出角速度傳感器的原理圖。我們利用集成技術(shù)已研制出專(zhuān)用來(lái)測量角速度即轉速的數字式自旋閥GMR磁傳感器。該磁敏傳感器可探測各種情況下的角速度。該類(lèi)GMR磁場(chǎng)傳感器可用在各種遠程抄表系統,在這里包括了煤氣、水、電表的數字式的處理。隨著(zhù)自動(dòng)化水平的提高,對于數字式的各種儀表的需求量越來(lái)越大。我們已與遼寧萬(wàn)恒科技有限公司建立了聯(lián)系。該公司需要大量數字式GMR磁傳感器應用在遠程抄表系統。在汽車(chē)(摩托)工業(yè)中,GMR磁場(chǎng)傳感器可用在剎車(chē)系統(ABS),通過(guò)探測角速度進(jìn)而起到制動(dòng)作用。不久我國將加入世貿組織(WTO),因此汽車(chē)(摩托車(chē))的防爆剎車(chē)系統的研制和利用的確是勢在必行。至于電機馬達行業(yè),為了得到穩定轉速的工作狀態(tài),轉速的測量和控制需要用GMR傳感器來(lái)測量角速度并通過(guò)反饋系統可得到穩定的角速度輸出。同時(shí),GMR角速度傳感器也可用在洗衣機行業(yè)。隨著(zhù)機算機的存儲密度的提高,對伺服系統的要求也在提高,對于磁盤(pán)轉速的控制的精度也在提高,因此磁場(chǎng)角速度傳感器將會(huì )應用在該領(lǐng)域。另外,利用GMR薄膜材料可研制出各種用途的磁性編碼器。磁性編碼器的優(yōu)點(diǎn)在于不易受塵埃、結露、影響、對潮濕氣體和污染不敏感,同時(shí)其結構簡(jiǎn)單緊湊,可高速運轉,而且其響應速度快(納秒級),體積比光學(xué)式編碼器小,而成本更低,且易將多個(gè)元件精確地集成,比用光學(xué)元件和半導體霍爾磁敏元件更容易構成新功能器件和多功能器件。由于磁性編碼器具有上述諸多優(yōu)點(diǎn),因而近年來(lái)在高精度測量控制領(lǐng)域中的應用不斷增加,其市場(chǎng)需求量每年以20-30%的速度增長(cháng)。在高速度、高精度、小型化、集成化及長(cháng)壽命的要求下,在激烈的市場(chǎng)競爭中,磁性編碼器以其突出特點(diǎn)而獨具優(yōu)勢,成為發(fā)展高技術(shù)的關(guān)鍵。

5)GMR醫用及生物磁場(chǎng)傳感器
人體之中存在著(zhù)各種形式的機械運動(dòng),它們是機體完成必要的生理功能的前提和保證,因此檢測這些生物機械運動(dòng),無(wú)論對基礎醫學(xué)還是對臨床醫學(xué)來(lái)講,都具有十分重要的意義。以前,由于必須利用體積大和功率高、價(jià)格貴的超導量子磁強計而局限在方面醫學(xué)的發(fā)展。高靈敏度及集成化的GMR磁敏傳感器的出現為這些機械運動(dòng)和病變部位的非接觸式的探測提供了方便,并推動(dòng)其發(fā)展。下面介紹幾種特殊在此方面的應用。磁性生物傳感器的原理如圖7所示:首先各種各樣的細胞、蛋白質(zhì)、抗體、病原體、病毒、DNA可以用納米級的磁性小顆粒來(lái)標記,也就是首先是這些被探測的對象磁性化,進(jìn)而在用高靈敏度的GMR磁場(chǎng)傳感器來(lái)探測它們的具體位置。這種也可用于醫學(xué)及臨床分析、DNA分析、環(huán)境污染監測等領(lǐng)域。高靈敏度的GMR傳感器也可用在用來(lái)腦電圖、心機圖等的高精度的儀器設備上,來(lái)診斷類(lèi)似于腦腫瘤病變的問(wèn)題。利用GMR磁場(chǎng)傳感器可以檢測眼球運動(dòng)、眼瞼運動(dòng)的方法,這有助于定量評價(jià)和研究困倦、視力疲勞現象,和診斷某些眼科疾病。

6)GMR磁敏傳感器在磁性介質(zhì)的探測和在磁性油墨鑒偽點(diǎn)鈔機中的應用
GMR磁場(chǎng)傳感器可以探測不同的磁性介質(zhì)。在這種應用中,磁性介質(zhì)攜帶著(zhù)要被探測的信息。磁性介質(zhì)是有非磁性的基體和磁性材料組成,磁性材料放置在基體內或基體的表面。當攜帶著(zhù)信息的磁性介質(zhì)掃過(guò)GMR磁場(chǎng)傳感器時(shí),則特有的信息被探測出來(lái)。傳感器的輸出依賴(lài)于磁性介質(zhì)的性能、工作縫隙的距離和傳感器的靈敏度。目前主要用在磁性墨跡的識別、磁性編碼的讀出、細小磁性微粒的探測、介質(zhì)磁性簽字的鑒別。
7)GMR磁敏加速度傳感器
加速度傳感器是通過(guò)測量被加速運動(dòng)物體的慣性力來(lái)確定加速度的測量裝置。根據牛頓定律,被加速物體有一種慣性力,其大小等于它的質(zhì)量和加速度的乘積,而其方向與加速度方向相反。由于這種慣性力的存在,使被加速系統中懸掛的彈性片發(fā)生彎曲,其彎曲量可由GMR磁敏器件進(jìn)行測量,從而得到系統的加速度。
2.GMR讀出磁頭在計算機信息存儲中的應用
由于利用了SPIN-VALVEGMR材料而研制的新一代硬盤(pán)讀出磁頭,已經(jīng)把存儲密度提高到目前(2000年)的560億位/平方英寸,并且GMR磁頭已占領(lǐng)磁頭市場(chǎng)的百分之九十到九十五?,F在磁記錄存儲密度已超過(guò)所有的存儲方式。正是利用GMR材料,才使得存儲密度在最近幾年內每年的增長(cháng)速度達到3―4倍。隨著(zhù)低電阻高信號的TMR的獲得,實(shí)現存儲密度到1000億位/平方英寸,將是近一兩年的目標。
3.GMR在隨機存儲(MRAM)中的應用
利用SPIN-VAVLE,TMR材料和半導體集成技術(shù)正在研制一種新的計算隨機存儲器芯片,由于0和1狀態(tài)的設置的原理來(lái)源于磁性材料特有的磁滯效應,因此在突然斷電時(shí)也不會(huì )丟失信息。半導體的非易失存儲器是以極微小的電容器,是利用存儲一份電荷來(lái)保存信息。如果斷電,這份電荷就要耗盡,信息就會(huì )丟失。另外采用GMR的磁隨機存儲器將比半導體的非易失存儲器速度快而廉價(jià),美國的IBM和摩托羅拉及歐洲的菲利普、西門(mén)子和INESC都在加緊研究。
4.GMR在各種邏輯元件和全金屬計算機中的應用
利用GMR材料可研制出磁性二極管、三極管和各種邏輯元件。目前正在把磁性GMR多層膜和半導體材料集成在一起,主要是利用電子的自旋注入(SPIN―INJECTION)來(lái)開(kāi)發(fā)新的磁性器件。全金屬的計算機將成為可能。
三、發(fā)展前景
人類(lèi)利用電子的荷電性在半導體芯片上創(chuàng )造了今天的信息時(shí)代,自旋極化輸運給人類(lèi)帶來(lái)的也許又是一片廣闊的天地。磁電子學(xué)給予人類(lèi)以夢(mèng)想和希望,同時(shí)也給予我們更多、更大的挑戰。事實(shí)上人類(lèi)對于自旋極化輸運的了解還處于一個(gè)非常膚淺的階段,對新出現的新現象、新效應的理解基本上還是一種“拼湊式”的、半經(jīng)典的唯象理論。作為磁學(xué)和微電子學(xué)的交叉學(xué)科,磁電子學(xué)將無(wú)論在基礎研究還是在應用開(kāi)發(fā)上都將是凝聚態(tài)物理學(xué)工作者和電子工程技術(shù)人員大顯身手的新領(lǐng)域。
磁電子學(xué)是一項方興未艾的事業(yè),其發(fā)展必定帶來(lái)人類(lèi)技術(shù)文明的進(jìn)一步發(fā)展。深圳華夏磁電子技術(shù)開(kāi)發(fā)有限公司志在建立一個(gè)磁電子學(xué)在國內的發(fā)展平臺,廣泛的吸引國內外磁電子學(xué)人才,促進(jìn)磁電子學(xué)在國內的產(chǎn)業(yè)化發(fā)展,在磁傳感器芯片生產(chǎn)的基礎上,開(kāi)發(fā)生產(chǎn)磁隨機存貯器、全金屬計算機等高精尖磁電子產(chǎn)品,樹(shù)立一個(gè)新技術(shù)與產(chǎn)業(yè)化同步發(fā)展的典范。
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